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公开(公告)号：CN108472610B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201780006815.2
申请日：2017-01-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供能够制造与使用点所必需的量对应的供给液体的供给液体制造装置。供给液体制造装置具备：将水与臭氧气体混合而生成臭氧水的混合器(113)；使向混合器(113)供给的水升压的升压泵(112)；将由混合器(113)生成的臭氧水气液分离成向使用点(119)供给的臭氧水和从排气口(125)排出的排出气体的气液分离箱(114)；对从气液分离箱(114)向使用点(119)供给的臭氧水的流量进行测定的流量计(117)；根据由流量计(117)测定的臭氧水的流量，控制升压泵(112)，对升压并供给至混合器(113)的水的压力(流量)进行调整的流量控制部(126)；以及以将气液分离箱(114)内的水位保持为恒定的方式控制排出气体的排气压力的排气压力控制部(123)。
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公开(公告)号：CN108472610A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201780006815.2
申请日：2017-01-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供能够制造与使用点所必需的量对应的供给液体的供给液体制造装置。供给液体制造装置具备：将水与臭氧气体混合而生成臭氧水的混合器(113)；使向混合器(113)供给的水升压的升压泵(112)；将由混合器(113)生成的臭氧水气液分离成向使用点(119)供给的臭氧水和从排气口(125)排出的排出气体的气液分离箱(114)；对从气液分离箱(114)向使用点(119)供给的臭氧水的流量进行测定的流量计(117)；根据由流量计(117)测定的臭氧水的流量，控制升压泵(112)，对升压并供给至混合器(113)的水的压力(流量)进行调整的流量控制部(126)；以及以将气液分离箱(114)内的水位保持为恒定的方式控制排出气体的排气压力的排气压力控制部(123)。
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公开(公告)号：CN109954414B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN201811585934.0
申请日：2018-12-24
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供气体溶解液制造装置及气体溶解液的制造方法。气体溶解液制造装置(1)具备气体供给部(2)、第一液体供给部(3)、气体溶解液生成部(4)、第二液体生成部(20)、第二液体供给部(21)、流量测定部(14)、以及控制部(23)。控制部(23)根据在流量测定部(14)测定的循环的气体溶解液的流量，对供给到气体溶解液生成部(4)的第一液体的供给量进行控制。气体溶解液生成部(4)使从气体供给部(2)供给的气体溶解于从第一液体供给部(3)供给的第一液体和从第二液体供给部(21)供给的第二液体，从而生成气体溶解液。
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公开(公告)号：CN113213610A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110096167.2
申请日：2021-01-25
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C02F1/68
Abstract: 本发明提供一种能够将未溶解于气体溶解液的气体再利用来生成高浓度的气体溶解液的气体溶解液制造装置。气体溶解液制造装置(1)具备：气体供给管线(2)，供给作为气体溶解液的原料的气体；液体供给管线(3)，供给作为气体溶解液的原料的液体；气体溶解液生成部(4)，将气体与液体混合而生成气体溶解液；气液分离部(5)，将生成的气体溶解液气液分离为向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体；以及气体溶解部(6)，设置于液体供给管线(4)，且使气液分离后的排出气体溶解于液体。气体溶解部(6)由中空纤维膜构成，该中空纤维膜由气体透过性膜构成。
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公开(公告)号：CN112023736A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202010493049.0
申请日：2020-06-03
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B01F3/04
Abstract: 本发明提供一种气体溶解液供给装置及气体溶解液供给方法，其中，气体溶解液供给装置在气体溶解部使从气体供给部供给的气体溶解于从液体供给部供给的液体，从而生成气体溶解液，将在气体溶解部生成的气体溶解液储存于气体溶解液箱，从气体溶解液箱向使用点供给气体溶解液，对向使用点供给的气体溶解液中的返回气体溶解部的气体溶解液的流量进行测定，根据测定的结果，对从液体供给部向气体溶解部供给的液体的流量进行调整。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109954414A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201811585934.0
申请日：2018-12-24
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供气体溶解液制造装置及气体溶解液的制造方法。气体溶解液制造装置(1)具备气体供给部(2)、第一液体供给部(3)、气体溶解液生成部(4)、第二液体生成部(20)、第二液体供给部(21)、流量测定部(14)、以及控制部(23)。控制部(23)根据在流量测定部(14)测定的循环的气体溶解液的流量，对供给到气体溶解液生成部(4)的第一液体的供给量进行控制。气体溶解液生成部(4)使从气体供给部(2)供给的气体溶解于从第一液体供给部(3)供给的第一液体和从第二液体供给部(21)供给的第二液体，从而生成气体溶解液。
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公开(公告)号：CN108939959A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810473585.7
申请日：2018-05-17
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 中川洋一
CPC classification number: B01F3/04099 , B01D19/0005 , B01D19/0036 , B01D19/0063 , B01D19/0073 , B01D2259/45 , B01F3/2223 , B01F2003/04886 , C02F1/78 , B01F1/00 , B01F1/0038 , B01F3/04 , B01F3/22 , B01F13/06
Abstract: 本发明提供一种气体溶解液制造装置，能够改变气液分离部的内部空间的容积，能够根据装置的使用状况而适当地调整气液分离部的内部空间的容积。气体溶解液制造装置(1)具备：气体溶解部(4)，该气体溶解部使第一原料的液体溶解于第二原料的气体而产生混合液体；以及气液分离部(7)，该气液分离部将由气体溶解部(4)产生的混合液体气液分离成向使用点(5)供给的气体溶解液和从排气口(6)排出的排出气体。气液分离部具备改变该气液分离部(7)的内部空间的容积的容积可变部(8、20)。
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公开(公告)号：CN117643807A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202311123205.4
申请日：2023-09-01
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提供一种即使提供至使用点的气体溶解液为高浓度，也能够抑制在使用点处使用时产生气泡的气体溶解液供给装置和使用该气体溶解液供给装置执行的方法。气体溶解液供给装置(1)具备：使原料气体溶解于原料液体而生成第一气体溶解液的气体溶解部(4)；供生成的第一气体溶解液贮留，并且生成从第一气体溶解液气液分离出的第二气体溶解液的第一气液分离器(10)；对通过第一气液分离器(10)生成的第二气体溶解液进行减压的减压器(17)；以及供减压后的第二气体溶解液贮留，并且生成从第二气体溶解液气液分离出的第三气体溶解液的第二气液分离器(12)。向使用点供给第三气体溶解液。
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公开(公告)号：CN110180416B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN201910133203.0
申请日：2019-02-22
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 中川洋一
Abstract: 本发明提供一种气体溶解液制造装置，能够提高气体溶解效率，并且能够提高气体溶解液的浓度的稳定性。气体溶解液制造装置(臭氧水制造装置(1))具备：供给臭氧气体的臭氧气体供给部(2)；供给纯水的纯水供给部(3)；以及臭氧水生成部(4)，该臭氧水生成部使臭氧气体溶解于供给的纯水并生成臭氧水。臭氧水生成部(4)具备：第一喷嘴(10)，该第一喷嘴具有第一最佳流量；第二喷嘴(11)，该第二喷嘴具有与第一最佳流量不同的第二最佳流量；流量检测部(15)，该流量检测部对供给的纯水的流量进行检测；以及控制部(16)，该控制部基于在流量检测部检测的纯水的流量，对将供给的气体向第一喷嘴和第二喷嘴的哪一个供给进行控制。
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公开(公告)号：CN112604828A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202011057856.4
申请日：2020-09-30
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 中川洋一
Abstract: 提供一种喷嘴及基板清洗装置，以提高将包含微小气泡的液体向基板喷洒时的均匀性。喷嘴具备：中空的壳体；以及多个板材，该多个板材设置于该壳体内，并将所述中空划分为多个空间，在该壳体的上表面或侧面设置有流入口，该流入口供气体溶解液流入且与被该板材划分出的空间中的最上方的空间连通，在各该板材设置有多个贯通孔，在该壳体的下表面设置有狭缝，该狭缝与被所述板材划分出的空间中的最下方的空间连通。
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