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公开(公告)号：CN104583102A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201380044982.8
申请日：2013-07-19
Applicant: 株式会社神户制钢所 , 日本电气硝子株式会社
CPC classification number: B65H39/16 , B32B7/06 , B32B17/064 , B32B37/0053 , B32B2315/08 , B65H23/1888 , B65H41/00 , B65H2301/414324 , B65H2511/112 , B65H2801/61 , C23C14/34 , C23C14/562 , C03B35/00
Abstract: 本发明提供一种在抑制玻璃膜的破损的情况下，将玻璃膜和保护片材重叠卷取的玻璃膜输送装置。玻璃膜输送装置（1a）具备：从卷绕有玻璃膜的卷料送出该玻璃膜的放卷部（2），其中，在该玻璃膜上层叠有与该玻璃膜大致相同宽度的长保护片材；输送从放卷部（2）送出并从保护片材分离的玻璃膜的玻璃膜输送部（3）；一边在由玻璃膜输送部（3）输送的玻璃膜上层叠与玻璃膜大致相同宽度的长保护片材，一边卷取成卷状的卷取部（4）；以及搬出从放卷部（2）送出的玻璃膜分离的保护片材，并且，向卷取部（4）搬入保护片材的保护片材输送部（5a）。而且，玻璃膜输送装置（1a）具备调整卷取部（4）的保护片材以及玻璃膜的卷取状态的卷取调整机构。
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公开(公告)号：CN110036135B
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN201780077254.5
申请日：2017-11-21
Applicant: 株式会社神户制钢所
Inventor： 大庭尚树
Abstract: 提供将靶(3)的基材相向面(30)开闭的遮挡件机构。遮挡件机构具备具有分别具有第一及第二边缘部(30a、30b)的第一及第二遮挡板(11A、11B)的遮挡件(6)、以第一及第二遮挡板(11A、11B)能够在第一及第二边缘部(30a、30b)重合的闭位置和开位置之间转移的方式使第一及第二遮挡板(11A、11B)绕沿基材相向面(30)的法线方向延伸的第一及第二旋转轴(SA、SB)旋转自如地分别支承的第一及第二旋转支承部(13A、13B)。第一及第二旋转轴(13A、13B)以第一及第二边缘部(30a、30b)在开位置沿着基材相向面(30)的边的方式被隔着第一及第二边缘部(30a、30b)的重叠区域在两侧分开地配置。
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公开(公告)号：CN104854256A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201380066932.X
申请日：2013-11-25
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: B05C1/003 , B05C1/10 , B05C1/12 , C23C14/541 , C23C14/562 , C23C16/46 , C23C16/545 , D21F5/022 , H05B3/0095
Abstract: 提供一种能够不使基材的输送品质下降而对于基材确保宽广的温度控制域的基材输送辊（2a）。基材输送辊（2a）设置在对薄膜基材（W）的表面实施成膜处理的成膜装置（1）中，通过绕中心轴旋转来输送薄膜基材（W），包括：中央部段（13a），位于沿着上述中心轴的轴向上的中央部，具有第1外周面；端部段（12a、12b），位于中央部段（13a）的轴向的两外侧，具有与基材（W）接触的第2外周面，第2外周面具有比第1外周面大的直径；中央部升降温介质机构，使中央部段（13a）的温度变化；和两端部升降温机构，使上述各端部段（12a、12b）的温度与上述中央部段（13a）独立地变化。
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公开(公告)号：CN106011772B
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201610194309.8
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 本发明提供一种成膜装置及成膜装置的分隔壁构造体，本发明的分隔壁构造体在成膜装置的腔室的内部形成至少1个成膜区。分隔壁构造体具备周向限制部和一对分隔壁。周向限制部与分隔壁相连，使得该周向限制部与分隔壁的相对位置被固定。分隔壁的内侧面在分隔壁被安装于腔室时与成膜辊的外周面隔开间隙地对置。周向限制部形成面向成膜辊外周面的成膜区。本发明的成膜装置具备一对分隔壁，前述一对分隔壁被固定于腔室，在成膜辊的宽度方向的两侧配置于在与该成膜辊之间隔开间隙的位置，分隔壁具有朝向成膜辊的径向外侧的外侧面和朝向成膜辊的径向内侧的内侧面，掩模安装在分隔壁的外侧面上，分隔壁的内侧面位于比成膜辊的外周面更靠成膜辊的径向内侧的位置。
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公开(公告)号：CN104583102B
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201380044982.8
申请日：2013-07-19
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: B65H39/16 , B32B7/06 , B32B17/064 , B32B37/0053 , B32B2315/08 , B65H23/1888 , B65H41/00 , B65H2301/414324 , B65H2511/112 , B65H2801/61 , C23C14/34 , C23C14/562
Abstract: 本发明提供一种在抑制玻璃膜的破损的情况下，将玻璃膜和保护片材重叠卷取的玻璃膜输送装置。玻璃膜输送装置（1a）具备：从卷绕有玻璃膜的卷料送出该玻璃膜的放卷部（2），其中，在该玻璃膜上层叠有与该玻璃膜大致相同宽度的长保护片材；输送从放卷部（2）送出并从保护片材分离的玻璃膜的玻璃膜输送部（3）；一边在由玻璃膜输送部（3）输送的玻璃膜上层叠与玻璃膜大致相同宽度的长保护片材，一边卷取成卷状的卷取部（4）；以及搬出从放卷部（2）送出的玻璃膜分离的保护片材，并且，向卷取部（4）搬入保护片材的保护片材输送部（5a）。而且，玻璃膜输送装置（1a）具备调整卷取部（4）的保护片材以及玻璃膜的卷取状态的卷取调整机构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110036135A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201780077254.5
申请日：2017-11-21
Applicant: 株式会社神户制钢所
Inventor： 大庭尚树
Abstract: 提供将靶(3)的基材相向面(30)开闭的遮挡件机构。遮挡件机构具备具有分别具有第一及第二边缘部(30a、30b)的第一及第二遮挡板(11A、11B)的遮挡件(6)、以第一及第二遮挡板(11A、11B)能够在第一及第二边缘部(30a、30b)重合的闭位置和开位置之间转移的方式使第一及第二遮挡板(11A、11B)绕沿基材相向面(30)的法线方向延伸的第一及第二旋转轴(SA、SB)旋转自如地分别支承的第一及第二旋转支承部(13A、13B)。第一及第二旋转轴(13A、13B)以第一及第二边缘部(30a、30b)在开位置沿着基材相向面(30)的边的方式被隔着第一及第二边缘部(30a、30b)的重叠区域在两侧分开地配置。
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公开(公告)号：CN105264110B
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201480031318.4
申请日：2014-05-08
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: H01J37/3277 , C23C14/562 , H01J37/32513 , H01J37/32733 , H01J37/32807 , H01J37/3288 , H01J37/32899 , H01J37/3417 , H01J37/3447 , H01J2237/162 , H01J2237/20278 , H01J2237/332 , H01L21/67132
Abstract: 提供一种能够不将成膜单元及其上游侧和下游侧单元上下重叠而确保作业空间的成膜装置。成膜装置包括成膜单元（16）、和配置在其左右的上游侧及下游侧单元（14、18）。成膜单元（16）具有：成膜辊（70）；多个引导辊（72）；主腔室（64），具有成膜辊收纳部（74）及其上侧的引导辊收纳部（76）；第1加工腔室和第2加工腔室（66、68），在成膜辊收纳部（74）的左右收纳多个成膜加工用设备（84、86）；和加工腔室支承部（104），将加工腔室（66、68）支承为，该加工腔室（66、68）能够在成膜用的通常位置与向左右退避的退避位置之间移动，并且能够在该退避位置与在前后方向上离开的露出位置之间移动。
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公开(公告)号：CN104854256B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201380066932.X
申请日：2013-11-25
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: B05C1/003 , B05C1/10 , B05C1/12 , C23C14/541 , C23C14/562 , C23C16/46 , C23C16/545 , D21F5/022 , H05B3/0095
Abstract: 提供一种能够不使基材的输送品质下降而对于基材确保宽广的温度控制域的基材输送辊（2a）。基材输送辊（2a）设置在对薄膜基材（W）的表面实施成膜处理的成膜装置（1）中，通过绕中心轴旋转来输送薄膜基材（W），包括：中央部段（13a），位于沿着上述中心轴的轴向上的中央部，具有第1外周面；端部段（12a、12b），位于中央部段（13a）的轴向的两外侧，具有与基材（W）接触的第2外周面，第2外周面具有比第1外周面大的直径；中央部升降温介质机构，使中央部段（13a）的温度变化；和两端部升降温机构，使上述各端部段（12a、12b）的温度与上述中央部段（13a）独立地变化。
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公开(公告)号：CN105264110A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201480031318.4
申请日：2014-05-08
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: H01J37/3277 , C23C14/562 , H01J37/32513 , H01J37/32733 , H01J37/32807 , H01J37/3288 , H01J37/32899 , H01J37/3417 , H01J37/3447 , H01J2237/162 , H01J2237/20278 , H01J2237/332 , H01L21/67132
Abstract: 提供一种能够不将成膜单元及其上游侧和下游侧单元上下重叠而确保作业空间的成膜装置。成膜装置包括成膜单元（16）、和配置在其左右的上游侧及下游侧单元（14、18）。成膜单元（16）具有：成膜辊（70）；多个引导辊（72）；主腔室（64），具有成膜辊收纳部（74）及其上侧的引导辊收纳部（76）；第1加工腔室和第2加工腔室（66、68），在成膜辊收纳部（74）的左右收纳多个成膜加工用设备（84、86）；和加工腔室支承部（104），将加工腔室（66、68）支承为，该加工腔室（66、68）能够在成膜用的通常位置与向左右退避的退避位置之间移动，并且能够在该退避位置与在前后方向上离开的露出位置之间移动。
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公开(公告)号：CN106011772A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610194309.8
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/562 , C23C14/042 , C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种成膜装置及成膜装置的分隔壁构造体，本发明的分隔壁构造体在成膜装置的腔室的内部形成至少1个成膜区。分隔壁构造体具备周向限制部和一对分隔壁。周向限制部与分隔壁相连，使得该周向限制部与分隔壁的相对位置被固定。分隔壁的内侧面在分隔壁被安装于腔室时与成膜辊的外周面隔开间隙地对置。周向限制部形成面向成膜辊外周面的成膜区。本发明的成膜装置具备一对分隔壁，前述一对分隔壁被固定于腔室，在成膜辊的宽度方向的两侧配置于在与该成膜辊之间隔开间隙的位置，分隔壁具有朝向成膜辊的径向外侧的外侧面和朝向成膜辊的径向内侧的内侧面，掩模安装在分隔壁的外侧面上，分隔壁的内侧面位于比成膜辊的外周面更靠成膜辊的径向内侧的位置。
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