公开(公告)号：CN101714559A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200910148900.X

申请日：2009-06-19

Applicant: 株式会社瑞萨科技

Inventor： 茶木原启 ,  冈崎勉

IPC: H01L27/115 ,  H01L23/528 ,  H01L21/8247 ,  H01L21/768

CPC classification number: H01L29/788 ,  H01L21/28282 ,  H01L27/11565 ,  H01L27/11568 ,  H01L27/11573 ,  H01L29/42344 ,  H01L29/792

Abstract: 本发明提供一种非易失性半导体存储器件，该半导体存储器件使供电布线ESL的一端配置在终端部TE1上，并使另一端配置在终端部TE2上，并且，将供电布线ESL的中央部配置在虚拟部DMY上。换句话说就是，由于终端部TE1和终端部TE2、以及虚拟部DMY是大体上相同的高度，因此，从终端部TE1上经由虚拟部DMY上到终端部TE2上所配置的供电布线ESL的大部分被形成为相同高度。采用本发明，能够提高非易失性半导体存储器件的可靠性，特别是能够对分裂栅型晶体管的存储器栅电极确实地进行供电。