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公开(公告)号：CN102297874A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201110106069.9
申请日：2011-04-27
IPC: G01N23/223 , G01N21/958
Abstract: 本发明涉及一种检查方法及装置，从导电性的观点出发检查液晶显示装置上附着的异物。该方法检查液晶显示装置用的基板上附着的异物中是否含有金属元素，每隔检查对象的上述基板的规定张数对不存在异物的部位测定1次预先测定的比较用荧光X射线光谱和上述基板的异物所附着的1个或多个部位的荧光X射线光谱，对多个X射线光谱进行数据处理，从而高精度地判定上述异物是否含有金属元素。
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