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发明公开
荧光X射线分析装置审中-实审

公开(公告)号：CN118541600A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202280088828.X

申请日：2022-11-09

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 名越泰彦 , 上月利晃 , 藤本悠城

IPC: G01N23/223

Abstract: 本发明的荧光X射线分析装置具有：真空室(17)，该真空室(17)至少包括配置有探测器的检测室并被抽真空；多个驱动部(18A～H)，该多个驱动部(18A～H)在真空室(17)外具有驱动源并进行真空室(17)内的机械动作；以及真空泄漏部位指定机构(23A、23B)，该真空泄漏部位指定机构(23A、23B)在监视上述真空室(17)的真空度的同时，使驱动部(18A～H)一个一个地动作，在各动作的前后，在真空室(17)的真空度的变化为规定的域值以上的情况下，将该驱动部(18A～H)指定为真空泄漏部位，并将该情况显示在显示机构(19)上并且/或者记录在记录机构(21)上。

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