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公开(公告)号:CN1954101B
公开(公告)日:2010-05-19
申请号:CN200680000230.1
申请日:2006-03-13
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: C30B19/02 , C30B9/00 , C30B15/00 , C30B15/32 , C30B17/00 , C30B19/06 , C30B29/403 , C30B29/406 , Y10T117/1024 , Y10T117/1032
Abstract: 本发明涉及一种III族氮化物结晶的制造方法,该方法在保持有包含III族金属、碱金属和氮的熔融液的保持容器内使晶种生长,包括:使上述晶种与上述熔融液接触的步骤、在接触上述熔融液的状态下将上述晶种的环境设定为偏离结晶生长条件的第1状态的步骤、增加上述熔融液中的氮浓度的步骤、和上述熔融液的氮浓度达到适合使上述晶种结晶生长的浓度时将上述晶种的环境设定为适合结晶生长条件的第2状态的步骤。
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公开(公告)号:CN1954101A
公开(公告)日:2007-04-25
申请号:CN200680000230.1
申请日:2006-03-13
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: C30B19/02 , C30B9/00 , C30B15/00 , C30B15/32 , C30B17/00 , C30B19/06 , C30B29/403 , C30B29/406 , Y10T117/1024 , Y10T117/1032
Abstract: 本发明涉及一种III族氮化物结晶的制造方法,该方法在保持有包含III族金属、碱金属和氮的熔融液的保持容器内使晶种生长,包括:使上述晶种与上述熔融液接触的步骤、在接触上述熔融液的状态下将上述晶种的环境设定为偏离结晶生长条件的第1状态的步骤、增加上述熔融液中的氮浓度的步骤、和上述熔融液的氮浓度达到适合使上述晶种结晶生长的浓度时将上述晶种的环境设定为适合结晶生长条件的第2状态的步骤。
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