公开(公告)号：CN109477221A

公开(公告)日：2019-03-15

申请号：CN201780036633.X

申请日：2017-06-16

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 中村文生 ,  田丸义久 ,  矢岛贵浩 ,  加藤裕子 ,  神保洋介 ,  植喜信 ,  冈野秀一 ,  冈山智彦

IPC: C23C16/505 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  H05H1/46

Abstract: 课题：提供一种能够实现缩短返回电流路径和确保对称性的等离子体处理装置。解决手段：本发明的一实施方式涉及的等离子体处理装置具备腔室主体、载物台、高频电极、多个接地部件、可动单元。上述腔室主体具有侧壁，所述侧壁的一部分包括能够使基板通过的开口部。上述多个接地部件配置在上述载物台的周围，电连接上述侧壁与上述载物台之间。上述可动单元具有支撑体，所述支撑体支撑作为上述多个接地部件的一部分的第一接地部件。上述可动单元构成为，能够使上述支撑体在上述第一接地部件间隔上述开口部而与上述开口部的内周面对置的第一位置和上述第一接地部件电连接于上述内周面的第二位置之间移动。

公开(公告)号：CN109477221B

公开(公告)日：2020-12-29

申请号：CN201780036633.X

申请日：2017-06-16

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 中村文生 ,  田丸义久 ,  矢岛贵浩 ,  加藤裕子 ,  神保洋介 ,  植喜信 ,  冈野秀一 ,  冈山智彦

IPC: C23C16/505 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  H05H1/46

Abstract: 提供一种能够实现缩短返回电流路径和确保对称性的等离子体处理装置。本发明的一实施方式涉及的等离子体处理装置具备腔室主体、载物台、高频电极、多个接地部件、可动单元。上述腔室主体具有侧壁，所述侧壁的一部分包括能够使基板通过的开口部。上述多个接地部件配置在上述载物台的周围，电连接上述侧壁与上述载物台之间。上述可动单元具有支撑体，所述支撑体支撑作为上述多个接地部件的一部分的第一接地部件。上述可动单元构成为，能够使上述支撑体在上述第一接地部件间隔上述开口部而与上述开口部的内周面对置的第一位置和上述第一接地部件电连接于上述内周面的第二位置之间移动。