多层陶瓷基板及其制造方法

    公开(公告)号:CN103650648B

    公开(公告)日:2017-06-09

    申请号:CN201280032117.7

    申请日:2012-06-28

    Abstract: 本发明提供一种多层陶瓷基板,能以优异的TCR特性来实现100mΩ以下的超低电阻,而且,即使采用利用过孔导体引出电阻膜的结构,也能在电阻膜与过孔导体之间获得优异的连接可靠性。多层陶瓷基板(1)具有由被层叠的多个陶瓷层(2)构成的陶瓷素域(3),包含形成在陶瓷层(2)之间的电阻膜(5、6)的电阻体(4),以及形成为在厚度方向上贯穿陶瓷层(2)且第一端部(11)与电阻膜(5)相连接的引出用过孔导体(9、10)。电阻膜和引出用过孔导体均含有构成合金类电阻材料的例如Ni和Cu,引出用过孔导体中Ni成分的浓度具有在与电阻膜(5)相连接的第一端部(11)中较高、且从第一端部(11)向着相反的第二端部(12)侧逐渐变低的倾斜结构。

    多层陶瓷基板及其制造方法

    公开(公告)号:CN103650648A

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:CN201280032117.7

    申请日:2012-06-28

    Abstract: 本发明提供一种多层陶瓷基板,能以优异的TCR特性来实现100mΩ以下的超低电阻,而且,即使采用利用过孔导体引出电阻膜的结构,也能在电阻膜与过孔导体之间获得优异的连接可靠性。多层陶瓷基板(1)具有由被层叠的多个陶瓷层(2)构成的陶瓷素域(3),包含形成在陶瓷层(2)之间的电阻膜(5、6)的电阻体(4),以及形成为在厚度方向上贯穿陶瓷层(2)且第一端部(11)与电阻膜(5)相连接的引出用过孔导体(9、10)。电阻膜和引出用过孔导体均含有构成合金类电阻材料的例如Ni和Cu,引出用过孔导体中Ni成分的浓度具有在与电阻膜(5)相连接的第一端部(11)中较高、且从第一端部(11)向着相反的第二端部(12)侧逐渐变低的倾斜结构。

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