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公开(公告)号：CN112514088B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN201980049717.6
申请日：2019-04-24
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H10N30/00 , H10N30/30 , H10N30/853
Abstract: 本发明具备基部(110)和薄膜部(120)。薄膜部(120)被基部(110)间接地支承，位于比基部(110)靠上侧。薄膜部(120)包含多个层。薄膜部(120)与基部(110)不重叠，且包含单晶压电体层(130)、上部电极层(140)、以及下部电极层(150)。在薄膜部(120)设置有在上下方向上贯通的贯通槽(180)。贯通槽(180)在构成薄膜部(120)的多个层中的最厚的层中形成有第1台阶部(181)。贯通槽(180)的宽度以第1台阶部(181)为界，下侧变得比上侧窄。
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公开(公告)号：CN116438739A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202180071572.7
申请日：2021-10-15
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够抑制在电介质膜产生裂纹及压电体层粘贴于电介质膜。弹性波装置(10)具备支承基板(12)、电介质膜(13)、压电层(14)和IDT电极(15)(激励电极)。压电层(14)具有第1、第2主面(14a、14b)。第2主面(14b)位于电介质膜(13)侧。在电介质膜(13)设置有空洞部(11a)。空洞部(11a)在俯视下与IDT电极(15)的至少一部分重叠。电介质膜(13)具有面向空洞部(11a)的侧壁面(13a)。侧壁面(13a)具有倾斜为越远离压电层(14)则空洞部(11a)的宽度变得越窄的倾斜部(13c)。倾斜部(13c)至少包括侧壁面(13c)中的压电层(14)侧的端部。在将倾斜部(13c)和压电层(14)的第2主面(14b)所成的角度设为倾斜角度α时，倾斜角度α为40°以上且80°以下。
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公开(公告)号：CN109314503B
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN201780034713.1
申请日：2017-04-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种耐湿性优异的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，具备：支承基板(2)，在上表面设置有凹部(2c)；压电薄膜(4)，在支承基板(2)上设置为覆盖支承基板(2)的凹部(2c)；IDT电极(5)，在压电薄膜(4)设置于支承基板(2)侧的主面(4a)上；以及中间层(8)，在压电薄膜(4)设置于与支承基板(2)相反侧的主面(4b)上，构成有被支承基板(2)和压电薄膜(4)包围的空间(9)，IDT电极(5)配置为面向空间(9)，在压电薄膜(4)以及中间层(8)设置有从中间层(8)的与压电薄膜(4)相反侧的主面(8B)到达空间(9)的贯通孔(11、12)，在中间层(8)上还具备设置为覆盖贯通孔(11、12)的开口端的覆盖构件(19)。
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公开(公告)号：CN109428564B
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN201810991653.9
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够增大主模式的频率与产生杂散的频率之差的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；声反射层(3)，具有声阻抗相对低的多个低声阻抗层(4a～4d)和声阻抗相对高的多个高声阻抗层(5a～5c)，且设置在支承基板(2)上；压电体层(6)，设置在声反射层(3)上；以及IDT电极(7)，设置在压电体层(6)上。声反射层(3)中的各层的膜厚的关系为如下关系中的至少一种关系：位于最靠压电体层(6)侧的低声阻抗层(4a)的膜厚比其它所有的低声阻抗层(4b～4d)的膜厚薄；以及位于最靠压电体层(6)侧的高声阻抗层(5a)的膜厚比其它所有的高声阻抗层(5b、5c)的膜厚薄。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106716827B
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201580052453.1
申请日：2015-10-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压电模块(10)具备压电薄膜(20)、固定层(30)以及支承基板(40)。压电薄膜(20)通过固定层(30)支承在支承基板(40)。在压电薄膜(20)的表面形成有功能导体(211、212)。在固定层(30)形成有空隙(300)，使得包括与功能导体(211、212)重叠的区域。在支承基板(40)的固定层(30)侧的面，在空隙(300)的区域内形成有构成电路元件的导体图案(50)。
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公开(公告)号：CN111033774A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880052416.4
申请日：2018-11-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/047 , H01L41/053 , H01L41/09 , H01L41/319 , H03H3/02 , H03H9/17
Abstract: 压电器件具备：压电体(10)，至少一部分能够进行弯曲振动；上部电极(22)，配置在压电体(10)的上表面上，其中，该上部电极越远离压电体(10)的上表面，晶格的应变越被缓和；下部电极(21)，配置在压电体(10)的下表面上，其中，该下部电极越远离压电体(10)的下表面，晶格的应变越被缓和；以及支承基板(40)，配置在压电体(10)的下方，设置有从支承基板(40)的下表面朝向压电体(10)的下表面上的凹部(141)。
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公开(公告)号：CN109314503A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780034713.1
申请日：2017-04-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种耐湿性优异的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，具备：支承基板(2)，在上表面设置有凹部(2c)；压电薄膜(4)，在支承基板(2)上设置为覆盖支承基板(2)的凹部(2c)；IDT电极(5)，在压电薄膜(4)设置于支承基板(2)侧的主面(4a)上；以及中间层(8)，在压电薄膜(4)设置于与支承基板(2)相反侧的主面(4b)上，构成有被支承基板(2)和压电薄膜(4)包围的空间(9)，IDT电极(5)配置为面向空间(9)，在压电薄膜(4)以及中间层(8)设置有从中间层(8)的与压电薄膜(4)相反侧的主面(8B)到达空间(9)的贯通孔(11、12)，在中间层(8)上还具备设置为覆盖贯通孔(11、12)的开口端的覆盖构件(19)。
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公开(公告)号：CN106716827A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201580052453.1
申请日：2015-10-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压电模块(10)具备压电薄膜(20)、固定层(30)以及支承基板(40)。压电薄膜(20)通过固定层(30)支承在支承基板(40)。在压电薄膜(20)的表面形成有功能导体(211、212)。在固定层(30)形成有空隙(300)，使得包括与功能导体(211、212)重叠的区域。在支承基板(40)的固定层(30)侧的面，在空隙(300)的区域内形成有构成电路元件的导体图案(50)。
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公开(公告)号：CN101542639B
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN200880000060.6
申请日：2008-01-22
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: C23C14/086 , H01L31/022483 , H01L31/1884 , Y02E10/50 , Y10T428/265 , Y10T428/31507 , Y10T428/31721 , Y10T428/31786 , Y10T428/31935
Abstract: 本发明提供一种具有可实用的耐湿性、作为透明导电膜所必要的特性、且经济性优良的ZnO系导电膜及其制造方法。在基体(11)的表面上形成含有III族元素氧化物作为掺杂剂或者不含III族元素氧化物、且以ZnO为主要成分的第1ZnO导电膜层(1)，在其上形成含有种类不同的III族元素氧化物、且具有透明性的第2ZnO导电膜层(2)，从而形成具有多层结构的导电膜(10)。第1ZnO导电膜层的膜厚为5～50nm。另外，第2ZnO导电膜层之后的ZnO导电膜层中以氧化锌(ZnO)为主要成分，以7重量％以下的比例含有III族元素氧化物。为了能够使形成于所述第1ZnO导电膜层上的所述第2ZnO导电膜层之后的ZnO导电膜层的结晶性提高，在可得到高结晶性的ZnO导电膜的条件下(例如，加热条件下)，形成第1ZnO导电膜层。
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