公开(公告)号：CN116438739A

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202180071572.7

申请日：2021-10-15

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 木村哲也 ,  久保新太郎 ,  岸本谕卓 ,  大村正志 ,  山田一

IPC: H03H9/25

Abstract: 提供一种弹性波装置，能够抑制在电介质膜产生裂纹及压电体层粘贴于电介质膜。弹性波装置(10)具备支承基板(12)、电介质膜(13)、压电层(14)和IDT电极(15)(激励电极)。压电层(14)具有第1、第2主面(14a、14b)。第2主面(14b)位于电介质膜(13)侧。在电介质膜(13)设置有空洞部(11a)。空洞部(11a)在俯视下与IDT电极(15)的至少一部分重叠。电介质膜(13)具有面向空洞部(11a)的侧壁面(13a)。侧壁面(13a)具有倾斜为越远离压电层(14)则空洞部(11a)的宽度变得越窄的倾斜部(13c)。倾斜部(13c)至少包括侧壁面(13c)中的压电层(14)侧的端部。在将倾斜部(13c)和压电层(14)的第2主面(14b)所成的角度设为倾斜角度α时，倾斜角度α为40°以上且80°以下。

公开(公告)号：CN116438430A

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202180075645.X

申请日：2021-10-28

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上和则 ,  久保新太郎

IPC: G01H11/08

Abstract: 本发明提供一种散热性优异的弹性波装置。弹性波装置(10)具备：支承构件，包含支承基板(14)；压电层(16)，设置在支承构件上；以及IDT电极(11)，设置在压电层(16)的第1主面(16a)，在支承构件设置有在压电层(16)侧开口的气隙部(14c)，支承构件(14)具有面向气隙部(14c)的内侧壁(14e)，高热传导膜(17)直接或间接地层叠在压电层(16)的第2主面(16b)的至少一部分，并且到达支承构件(14)的内侧壁(14e)。

公开(公告)号：CN116472670A

公开(公告)日：2023-07-21

申请号：CN202180075944.3

申请日：2021-11-09

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 久保新太郎

IPC: H03H9/25

Abstract: 本发明提供一种能够提高散热性的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：支承构件(13)，包含支承基板；压电层(14)，设置在支承构件(13)上；以及IDT电极(11)(激励电极)，设置在压电层(14)上。在支承构件(13)设置有空洞部(13c)。空洞部(13c)在俯视下与IDT电极(11)的至少一部分重叠。支承构件(13)具有：开口部(13a)，在压电层(14)侧开口；以及内壁面(13b)，与开口部(13a)连接，且面向空洞部(13c)。还具备：功能膜(15)，设置在内壁面(13b)的至少一部分，在波长为0.2μm以上且1.2μm以下的范围具有电磁波的吸收能力。

公开(公告)号：CN116964934A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202280019895.6

申请日：2022-02-08

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 木村哲也 ,  久保新太郎

IPC: H03H9/25

Abstract: 本发明提供一种能够抑制压电层的厚度的偏差的弹性波装置。弹性波装置(10)具备：支承构件(13)，具有支承基板；压电层(14)，设置在支承构件(13)上；以及激励电极，设置在压电层(14)上。在支承构件(13)设置有空洞部(13c)。在俯视下，激励电极的至少一部分与空洞部(13c)重叠。压电层(14)中的在俯视下与空洞部(13c)重叠的部分为薄膜部(15)。薄膜部(15)具有第1方向(w1)和与第1方向(w1)正交的第2方向(w2)。薄膜部(15)具有位于第1方向(w1)上的中央的中央部(15c)和在第1方向(w1)上夹着中央部(15c)相互对置的第1部分(15a)和第2部分(15b)，并且具有外周缘。薄膜部(15)的第1部分(15a)以及第2部分(15b)中的外周缘的至少一部分位于比中央部(15c)中的外周缘靠第2方向(w2)上的外侧。