公开(公告)号：CN108450010A

公开(公告)日：2018-08-24

申请号：CN201680055320.4

申请日：2016-09-23

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 马蒂·柳库 ,  塞韦里·尼斯卡宁

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本结构能够以紧凑的组件尺寸并且以最小的横轴灵敏度实现加速度的双向感测。旋转质量块(100)包括第一框架(102)和第二框架(102)。在一个感测方向上，该结构采用第一框架和第二框架的组合检测质量块，这提高了利用所述装置尺寸可实现的信噪比水平。在另一个感测方向上，具有至少两个感测元件的检测结构(140)用于检测第二框架的检测质量块的位移。由于检测结构(140)的特定内部构造，感测元件在一个方向上的信号贡献相互抵消。

公开(公告)号：CN108450010B

公开(公告)日：2021-01-05

申请号：CN201680055320.4

申请日：2016-09-23

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 马蒂·柳库 ,  塞韦里·尼斯卡宁

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本结构能够以紧凑的组件尺寸并且以最小的横轴灵敏度实现加速度的双向感测。旋转质量块(100)包括第一框架(102)和第二框架(102)。在一个感测方向上，该结构采用第一框架和第二框架的组合检测质量块，这提高了利用所述装置尺寸可实现的信噪比水平。在另一个感测方向上，具有至少两个感测元件的检测结构(140)用于检测第二框架的检测质量块的位移。由于检测结构(140)的特定内部构造，感测元件在一个方向上的信号贡献相互抵消。