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公开(公告)号：CN119916056A
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202411501538.0
申请日：2024-10-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 马蒂·柳库 , 叶林娜·库斯玛
IPC: G01P15/125 , G01P1/00 , G01P1/02
Abstract: 本公开内容描述了一种加速度计，该加速度计包括定子梳齿，定子梳齿与转子梳齿相互交错使得形成电容器。所有转子梳齿的顶部在z方向上从器件层的顶表面凹陷第一凹进深度D1。一些定子梳齿的顶部在z方向上从器件层的顶表面凹进大于D1的第二凹进深度D2。
