公开(公告)号：CN104094376A

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：CN201380008020.7

申请日：2013-01-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 海老塚泰 ,  菅野诚一郎 ,  西原诚 ,  藤田真志

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/226 ,  H01J37/026 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0047 ,  H01J2237/06 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2801 ,  H02N13/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种可有效地实现静电吸盘的除电的带电粒子束装置。为了达成上述目的，在本发明中提出一种带电粒子束装置，其特征在于，具备将包括静电吸盘机构(5)的空间维持在真空状态的样品室，带电粒子束装置具备用于向样品室内照射紫外光的紫外光源(6)、和被该紫外光照射的被照射部件，该被照射部件配置在所述静电吸盘的吸附面的垂线方向上。

公开(公告)号：CN115219537A

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202210349312.8

申请日：2022-04-01

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 海老塚泰 ,  新藤博之 ,  荫谷龙吾

IPC: G01N23/2251

Abstract: 本发明提供一种缺陷检查装置以及缺陷检查方法，其在合成图像中能够检查多种多样的缺陷种类。该缺陷检查装置将来自第一检测器的第一检测信号和来自第二检测器的第二检测信号以第一合成比率进行合成而生成第一合成图像，并且将所述第一检测信号和所述第二检测信号以与所述第一合成比率不同的第二合成比率进行合成而生成第二合成图像。然后，基于所述第一合成图像生成第一检查图像，并且基于所述第二合成图像生成第二检查图像。并且，执行所述第一检查图像和所述第二检查图像的逻辑运算来生成合成检查图像。对所述合成检查图像执行缺陷判定。

公开(公告)号：CN104094376B

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201380008020.7

申请日：2013-01-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 海老塚泰 ,  菅野诚一郎 ,  西原诚 ,  藤田真志

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/226 ,  H01J37/026 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0047 ,  H01J2237/06 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2801 ,  H02N13/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种可有效地实现静电吸盘的除电的带电粒子束装置。为了达成上述目的，在本发明中提出一种带电粒子束装置，其特征在于，具备将包括静电吸盘机构(5)的空间维持在真空状态的样品室，带电粒子束装置具备用于向样品室内照射紫外光的紫外光源(6)、和被该紫外光照射的被照射部件，该被照射部件配置在所述静电吸盘的吸附面的垂线方向上。