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公开(公告)号：CN111344831A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201780096823.0
申请日：2017-11-27
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 有：电磁波产生源(16)，产生供照射到试样的电磁波；带电粒子光学系统，包含脉冲化机构(3)，供汇集带电粒子束而照射到试样；检测器(10)，检测由于带电粒子束和试样的相互作用而被放出的放出电子；第1照射控制部(15)，控制电磁波产生源，使脉冲电磁波照射到试样生成激发载流子；第2照射控制部(14)，控制脉冲化机构，将脉冲带电粒子束照射到试样的电磁波照射区域；及定时控制部(13)，定时控制部将基于检测器的放出电子的检测与脉冲带电粒子束的照射同步进行，控制第1照射控制部和第2照射控制部，控制对电磁波照射区域的脉冲电磁波和脉冲带电粒子束的间隔时间。由此，能基于放出电子量的过渡变化，以纳米空间分辨率检测试样信息。
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公开(公告)号：CN107078011B
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201580052516.3
申请日：2015-10-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/22 , H01J37/28
Abstract: 提供一种能够以对试样的较少的带电粒子照射量获得高SN比的带电粒子束装置。带电粒子束装置具备带电粒子检测装置，所述带电粒子检测装置在一个一次电子入射到试样时的放出电子的检测(一个事件)中，检测出模拟脉冲波形信号(110)，将所述模拟脉冲波形信号(110)变换为数字信号(111)，使用与一个电子相当的单位波峰对所述数字信号(111)进行波峰区别(112)，并作为多值计数值而输出。
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公开(公告)号：CN110168696A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201780082429.1
申请日：2017-05-12
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种照射带电粒子束来观察试样的测量装置，其特征在于，包括：输出带电粒子束的粒子源；使带电粒子束聚焦的透镜；对从照射了带电粒子束的试样发射的发射电子的信号进行检测的检测器；和基于观测条件对带电粒子束的输出和发射电子的信号的检测进行控制的控制装置，作为所述观测条件，控制装置设定用于控制带电粒子束的照射周期的第1参数、用于控制脉冲状的带电粒子束的脉冲宽度的第2参数、用于在脉冲状的带电粒子束的照射时间内控制发射电子的信号的检测时刻的第3参数，第3参数是基于从带电粒子束的照射位置发射的多个发射电子的信号各自的强度之差而决定的。
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公开(公告)号：CN103907004A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201280051975.6
申请日：2012-10-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/261 , G01B15/02 , G01N23/00 , H01J37/026 , H01J37/28 , H01J2237/0044 , Y10T428/24331 , Y10T428/261
Abstract: 本发明提供一种电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置。抑制一次电子导致的带电，根据观察样品得到明确的边缘对比度，高精度地测量试料的表面形状。使用试料上的包含离子液体的液状介质为薄膜状或者网膜状的观察样品。此外，在使用该观察样品的电子显微法中，包括：测量试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的工序；基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件的工序；和按照上述一次电子的照射条件照射一次电子并对上述试料的形态进行图像化的工序。
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公开(公告)号：CN112602164B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN201880096799.5
申请日：2018-09-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28
Abstract: 提供一种能够以高灵敏度得到反映了试样的电子状态的对比度的电子束装置。电子束装置(1)具有：电子光学系统，向试样照射电子束，对从试样释放的释放电子进行检测；光脉冲照射系统，向试样照射光脉冲；同步处理部(17)，在电子光学系统中，与电子束的偏转信号同步地，进行释放电子的检测采样；图像信号处理部(18)，根据基于电子光学系统所检测的释放电子而输出的检测信号来形成图像；和装置控制部(19)，设定电子光学系统的控制条件，若将电子束扫描相当于图像的一个像素的试样的区域所需的时间设为单位像素时间tpixel，则装置控制部将进行释放电子的检测采样的采样频率fpixelsamp设定为比每个单位像素时间的光脉冲的照射数Nshot除以单位像素时间得到的值大。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117043908A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202180096298.9
申请日：2021-03-26
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
Abstract: 本公开的目的在于提供一种带电粒子束系统，其能够使用因对试样照射光而产生的光的干涉、光的衍射、光的驻波等引起的观察图像上的特征量，得到与试样有关的信息。本公开的带电粒子束系统从试样的观察图像中提取因对试样照射光而产生的所述光的干涉、所述光的衍射或所述光的驻波引起的第一特征量，并使用所述第一特征量来取得所述试样的第二特征量(参照图6)。
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公开(公告)号：CN109075002B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201680084947.2
申请日：2016-04-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/244
Abstract: 本发明提供能够在大气中观察二次电子图像的电子显微镜以及观察方法。更具体地，本发明的带电粒子显微镜具有从带电粒子光学镜筒(2)内部的真空空间分离载置试样的非真空空间的隔壁(31)、上部电极(35)、载置试样(100)的下部电极(5)、对上部电极和下部电极中的至少任一方施加电压的电源(21)、调整试样与所述隔壁的间隔的试样间隙调整机构(9)、以及基于在下部电极吸收到的电流来形成所述试样图像的图像形成部(15)。利用在上部电极与下部电极之间施加电压时产生的气体分子与电子的电离碰撞的放大效果，来选择性地测量二次电子。检测方式使用测量在下部电极流过的电流值的方法。
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公开(公告)号：CN110168696B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201780082429.1
申请日：2017-05-12
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种照射带电粒子束来观察试样的测量装置，其特征在于，包括：输出带电粒子束的粒子源；使带电粒子束聚焦的透镜；对从照射了带电粒子束的试样发射的发射电子的信号进行检测的检测器；和基于观测条件对带电粒子束的输出和发射电子的信号的检测进行控制的控制装置，作为所述观测条件，控制装置设定用于控制带电粒子束的照射周期的第1参数、用于控制脉冲状的带电粒子束的脉冲宽度的第2参数、用于在脉冲状的带电粒子束的照射时间内控制发射电子的信号的检测时刻的第3参数，第3参数是基于从带电粒子束的照射位置发射的多个发射电子的信号各自的强度之差而决定的。
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公开(公告)号：CN109314030B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201680086434.5
申请日：2016-06-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/075 , H01J37/252
Abstract: 为了提供即使相对于高真空环境下的非导电性试料也能检测稳定的二次粒子(23)、电磁波(24)并能进行良好的观察、分析的带电粒子线装置，使带电粒子线装置具有：带电粒子枪(12)；使带电粒子线(20)在试料(21)上进行扫描的扫描偏转器(17、18)；检测从外部向扫描偏转器输入的扫描控制电压的检测部(40、41)；基于检测到的扫描控制电压来计算带电粒子线(20)的照射像素坐标的运算部(42)；以及根据照射像素坐标控制向试料(21)的带电粒子线(20)的照射的照射控制部(45)。
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公开(公告)号：CN109314030A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201680086434.5
申请日：2016-06-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/075 , H01J37/252
Abstract: 为了提供即使相对于高真空环境下的非导电性试料也能检测稳定的二次粒子(23)、电磁波(24)并能进行良好的观察、分析的带电粒子线装置，使带电粒子线装置具有：带电粒子枪(12)；使带电粒子线(20)在试料(21)上进行扫描的扫描偏转器(17、18)；检测从外部向扫描偏转器输入的扫描控制电压的检测部(40、41)；基于检测到的扫描控制电压来计算带电粒子线(20)的照射像素坐标的运算部(42)；以及根据照射像素坐标控制向试料(21)的带电粒子线(20)的照射的照射控制部(45)。
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