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公开(公告)号:CN101022092B
公开(公告)日:2010-12-01
申请号:CN200710005589.4
申请日:2007-02-13
Applicant: 株式会社日立显示器
IPC: H01L21/84 , H01L21/768 , H01L21/3213 , G02F1/1362
CPC classification number: G02F1/133555 , G02F1/136227
Abstract: 本发明提供一种显示装置的制造方法,在具有反射区域和透射区域的液晶显示装置中,抑制工序数增加地制造反射电极和透射电极。对具有透射区域和反射区域的像素,连续层叠形成反射电极的金属膜和形成透射电极的透明导电膜。将抗蚀剂膜曝光显影,形成第1图案,同时蚀刻金属层和透明导电膜。然后通过灰化在抗蚀剂膜形成第2图案,蚀刻金属层。另外,利用有机树脂层作为形成接触孔的掩模。
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公开(公告)号:CN101022092A
公开(公告)日:2007-08-22
申请号:CN200710005589.4
申请日:2007-02-13
Applicant: 株式会社日立显示器
IPC: H01L21/84 , H01L21/768 , H01L21/3213 , G02F1/1362
CPC classification number: G02F1/133555 , G02F1/136227
Abstract: 本发明提供一种显示装置的制造方法,在具有反射区域和透射区域的液晶显示装置中,抑制工序数增加地制造反射电极和透射电极。对具有透射区域和反射区域的像素,连续层叠形成反射电极的金属膜和形成透射电极的透明导电膜。将抗蚀剂膜曝光显影,形成第1图案,同时蚀刻金属层和透明导电膜。然后通过灰化在抗蚀剂膜形成第2图案,蚀刻金属层。另外,利用有机树脂层作为形成接触孔的掩模。
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