公开(公告)号：CN102540603A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110430612.0

申请日：2011-12-14

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 中村考雄 ,  石井一树 ,  武藤大祐 ,  关英宪

IPC: G02F1/1362 ,  G02F1/1368 ,  G02F1/1343 ,  H01L29/786

CPC classification number: G02F1/136286 ,  G02F1/133345 ,  G02F1/134363 ,  G02F1/136227 ,  G02F1/1368 ,  G02F2001/133354

Abstract: 本发明提供一种液晶显示装置，用于防止覆盖形成在有机钝化膜上的通过ITO形成的电极的层间绝缘膜剥离的现象。在顶栅型的TFT上形成有用于与视频信号线连接的接触孔(130)。覆盖TFT并依次形成有无机钝化膜(108)、有机钝化膜(109)，在其上形成公共电极(110)，再在公共电极(110)上形成层间绝缘膜(111)。在层间绝缘膜(111)上形成有用于排气的通孔(140)。使通孔(140)的直径大于接触孔(130)的直径。使来自有机钝化膜(109)的气体从用于排气的通孔(140)放出，防止层间绝缘膜(111)的剥离。

公开(公告)号：CN102540603B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201110430612.0

申请日：2011-12-14

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 中村考雄 ,  石井一树 ,  武藤大祐 ,  关英宪

IPC: G02F1/1362 ,  G02F1/1368 ,  G02F1/1343 ,  H01L29/786

CPC classification number: G02F1/136286 ,  G02F1/133345 ,  G02F1/134363 ,  G02F1/136227 ,  G02F1/1368 ,  G02F2001/133354

Abstract: 本发明提供一种液晶显示装置，用于防止覆盖形成在有机钝化膜上的通过ITO形成的电极的层间绝缘膜剥离的现象。在顶栅型的TFT上形成有用于与视频信号线连接的接触孔(130)。覆盖TFT并依次形成有无机钝化膜(108)、有机钝化膜(109)，在其上形成公共电极(110)，再在公共电极(110)上形成层间绝缘膜(111)。在层间绝缘膜(111)上形成有用于排气的通孔(140)。使通孔(140)的直径大于接触孔(130)的直径。使来自有机钝化膜(109)的气体从用于排气的通孔(140)放出，防止层间绝缘膜(111)的剥离。

公开(公告)号：CN1674229A

公开(公告)日：2005-09-28

申请号：CN200510000501.0

申请日：2005-01-07

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 武田一男 ,  佐藤健史 ,  后藤顺 ,  斋藤雅和 ,  武藤大祐

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/00 ,  G09F9/30 ,  G09G3/36 ,  G09G3/38 ,  G02F1/133

CPC classification number: H01L27/1285 ,  H01L27/1296 ,  H01L27/3244 ,  H01L29/66757 ,  H01L29/78675

Abstract: 本发明提供一种多晶半导体膜制造方法及其装置和图像显示面板，通过一边对非晶半导体膜扫描激光光束一边照射来进行结晶化，从而防止形成多晶半导体膜时的照射光束内强度的突起分布的发生。在用于使进行照射的激光光束(13)内的光强度分布均匀的光学系统(5)～(8)中，设置将成为狗耳(16)的发生原因的由透镜边界产生的衍射光(17、18)除去的除去狗耳用滤光器(15)。由此，通过除去狗耳分布，不需要使激光光束(13)的光强度分布模糊，就能维持高能量效率的分布，提高处理能力。