公开(公告)号：CN101667527B

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN200910161644.8

申请日：2009-07-24

Applicant: 株式会社日立显示器 ,  松下液晶显示器株式会社

Inventor： 新井武 ,  中须信昭 ,  枝村理夫 ,  大录范行

IPC: H01L21/00 ,  C23C16/04 ,  C23C16/50 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明的目的在于提供一种显示装置的修正方法及其装置，能够大幅度扩大修正的区域、材料或种类等的适用范围。本发明的显示装置的修正装置，用于对在衬底的表面上形成了具有图案缺陷的电子电路图案的显示装置的上述图案缺陷进行修正，包括通过对上述图案缺陷的区域局部地照射等离子体而修正上述图案缺陷的等离子体照射单元。

公开(公告)号：CN101667527A

公开(公告)日：2010-03-10

申请号：CN200910161644.8

申请日：2009-07-24

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 新井武 ,  中须信昭 ,  枝村理夫 ,  大录范行

IPC: H01L21/00 ,  C23C16/04 ,  C23C16/50 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明的目的在于提供一种显示装置的修正方法及其装置，能够大幅度扩大修正的区域、材料或种类等的适用范围。本发明的显示装置的修正装置，用于对在衬底的表面上形成了具有图案缺陷的电子电路图案的显示装置的上述图案缺陷进行修正，包括通过对上述图案缺陷的区域局部地照射等离子体而修正上述图案缺陷的等离子体照射单元。