公开(公告)号：CN102738296A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210104811.7

申请日：2012-04-06

Applicant: 株式会社日立国际电气 ,  东华隆株式会社

Inventor： 西谷英辅 ,  国井泰夫 ,  丰田一行 ,  桧山耕作 ,  中筋智博 ,  滨口龙哉 ,  宫岛生欣

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/032 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/67754 ,  H01L31/18 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供一种衬底处理装置，所述衬底处理装置用于形成CIS类太阳能电池的光吸收层，进行硒化或硫化处理，其中，具有与石英制腔室相比易于加工的炉体，另外提供一种易于处置的腔室。所述衬底处理装置具有：处理室，容纳有多个衬底，所述衬底形成有由铜-铟、铜-镓或铜-铟-镓中的任一种形成的层合膜；反应管，以构成处理室的方式形成；气体供给管，向处理室中导入含硒元素气体或含硫元素气体；排气管，将处理室内的气体排出；及加热部，以包围上述反应管方式设置，其中，反应管的基材由不锈钢等金属材料形成，反应管的表面形成有多孔状涂膜，所述多孔状涂膜以氧化铬及氧化硅的混合物作为主要成分、且具有5％至15％的空隙率。

公开(公告)号：CN103025908A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201080068188.3

申请日：2010-05-31

Applicant: 东华隆株式会社 ,  洪明洙

Inventor： 安尾典之 ,  宫岛生欣 ,  洪明洙

IPC: C23C4/06 ,  B21C47/00 ,  B21C47/06 ,  C22C38/00 ,  C22C38/22 ,  C22C38/24 ,  C23C4/10 ,  C23C4/12 ,  C23C4/18 ,  C23C10/28 ,  C23C26/00

CPC classification number: C23C4/18 ,  B21C47/06 ,  B22F3/115 ,  B22F7/08 ,  C22C38/00 ,  C22C38/02 ,  C22C38/04 ,  C22C38/22 ,  C23C4/10 ,  C23C10/02 ,  C23C10/28

Abstract: 廉价地提供辊基材为高硬度、不易受到凹陷等变形损伤、而且被覆在辊基材表面的喷镀覆膜在覆膜密合性、耐磨耗性、钢板通板性方面优异的、适用于热轧设备的辊，并且提供其有利的制造方法。作为其解决方案，优选在使用Cr为0.9～3.2质量%且下述(1)式定义的碳当量Ceq为0.45～1.65质量%的钢而成的辊基材的表面覆盖含有硬质陶瓷颗粒的自熔合金的喷镀覆膜后，在非氧化性气氛下实施熔合处理而在上述喷镀覆膜与辊基材之间形成厚度为30～200μm的扩散层后，进行冷却或热处理，使辊基材的硬度按肖氏硬度HS计为35～60。

公开(公告)号：CN103025908B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201080068188.3

申请日：2010-05-31

Applicant: 东华隆株式会社 ,  洪明洙

Inventor： 安尾典之 ,  宫岛生欣 ,  洪明洙

IPC: C23C4/06 ,  B21C47/00 ,  B21C47/06 ,  C22C38/00 ,  C22C38/22 ,  C22C38/24 ,  C23C4/10 ,  C23C4/12 ,  C23C4/18 ,  C23C10/28 ,  C23C26/00

CPC classification number: C23C4/18 ,  B21C47/06 ,  B22F3/115 ,  B22F7/08 ,  C22C38/00 ,  C22C38/02 ,  C22C38/04 ,  C22C38/22 ,  C23C4/10 ,  C23C10/02 ,  C23C10/28

Abstract: 廉价地提供辊基材为高硬度、不易受到凹陷等变形损伤、而且被覆在辊基材表面的喷镀覆膜在覆膜密合性、耐磨耗性、钢板通板性方面优异的、适用于热轧设备的辊，并且提供其有利的制造方法。作为其解决方案，优选在使用Cr为0.9～3.2质量%且下述(1)式定义的碳当量Ceq为0.45～1.65质量%的钢而成的辊基材的表面覆盖含有硬质陶瓷颗粒的自熔合金的喷镀覆膜后，在非氧化性气氛下实施熔合处理而在上述喷镀覆膜与辊基材之间形成厚度为30～200μm的扩散层后，进行冷却或热处理，使辊基材的硬度按肖氏硬度HS计为35～60。