质量气流传感器及其所用的测量器

    公开(公告)号:CN1155653A

    公开(公告)日:1997-07-30

    申请号:CN96100286.7

    申请日:1996-05-17

    Abstract: 一种形成在一基片上,用来测量一目标流体的流动速率的质量气流传感器的测量器,包括:一对并列在该目标流体的流动方向上且形成在该基片上的一薄膜受热电阻形成部分的薄膜受热电阻、一对形成在该基片上的一薄膜环境温度传感电阻形成部分的薄膜非受热环境温度传感电阻以及若干形成在支撑该基片的一支撑部上的薄膜电极接头,该支撑部与该受热电阻薄膜形成部分和薄膜环境温度传感电阻形成部分隔离,这些电极接头用来从该受热电阻和非受热环境温度传感电阻取出电信号。

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