公开(公告)号：CN1264887C

公开(公告)日：2006-07-19

申请号：CN02151387.2

申请日：2002-11-20

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 白石洋 ,  右高园子 ,  服部孝司 ,  新井唯 ,  逆水登志夫

IPC: C08G16/02 ,  G03F7/004 ,  B41N3/00

CPC classification number: G03F1/56

Abstract: 本发明提供一种可以较少的工序数目制造、高精度且低缺陷的KrF准分子激光平版印刷法用光掩模。本发明的KrF准分子光平版印刷法用光掩模，是在石英玻璃基板(10)上直接形成可将KrF受激准分子激光(波长：约248nm)有效地吸收的抗蚀图案(18)。抗蚀图案(18)，是由以在萘环导入至少结合有一羟基的高遮光性水性碱可溶性树脂或该水性碱可溶性树脂的衍生物作为高分子树脂基质的水性碱可溶性树脂作为主成分的感光性树脂组合物所构成。

公开(公告)号：CN1428358A

公开(公告)日：2003-07-09

申请号：CN02151387.2

申请日：2002-11-20

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 白石洋 ,  右高园子 ,  服部孝司 ,  新井唯 ,  逆水登志夫

IPC: C08G16/02 ,  G03F7/004 ,  B41N3/00

CPC classification number: G03F1/56

Abstract: 本发明提供一种可以较少的工序数目制造、高精度且低缺陷的KrF准分子激光平版印刷法用光掩模。本发明的KrF准分子光平版印刷法用光掩模，是在石英玻璃基板(10)上直接形成可将KrF受激准分子激光(波长：约248nm)有效地吸收的抗蚀图案(18)。抗蚀图案(18)，是由以在萘环导入至少结合有一羟基的高遮光性水性碱可溶性树脂或该水性碱可溶性树脂的衍生物作为高分子树脂基质的水性碱可溶性树脂作为主成分的感光性树脂组合物所构成。