公开(公告)号：CN102836802B

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201210192798.5

申请日：2012-06-12

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 片田一哉 ,  铃木隆将 ,  神尾正信 ,  三井信治 ,  川隅幸宏

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 ,  G02F1/1337 ,  G02F1/1341

Abstract: 本发明提供能微量且以微小的间距进行液晶材料的滴落、结果能使液晶面板的液晶材料层薄厚度化的液晶材料滴落装置及液晶材料涂敷方法。本发明的液晶材料涂敷装置，将液晶材料涂敷到基板上，具有储存液晶材料的液晶材料储存机构（22）、与液晶材料储存机构（22）连接并将液晶材料储存机构（22）的内压保持在预定范围内的内压控制机构（16a、17、20）、与液晶材料储存机构（22）连接并将液晶材料涂敷到基板上的喷墨方式的涂敷机构（11）。内压控制机构包含向液晶材料储存机构供给大气或任意气体的气体供给部（18、18a）和向液晶材料储存机构供给负压的负压供给部（17、17a、20）。