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发明公开
半导体压力传感器无效

公开(公告)号：CN85105726A

公开(公告)日：1987-03-04

申请号：CN85105726

申请日：1985-07-27

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 武田次郎 , 市川范男 , 鹤冈一广

IPC: G01C9/04

Abstract: 一个半导体应变计放置在外壳体的凹槽腔室中。在凹槽腔室内有一个台阶，在台阶的内壁周围部位上有微细的沟槽。在具有传递压力孔的金属盘外部周围，使用塑料流体封装的方法，将金属盘夹到微细的沟槽上。在台阶的平面部位放上密封薄膜之后，从而将密封薄膜紧紧地封住凹槽腔室。

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