公开(公告)号：CN108573844B

公开(公告)日：2019-12-24

申请号：CN201810125436.1

申请日：2018-02-07

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 渡边敬司 ,  峰利之 ,  志知广康 ,  森下真年

IPC: H01J37/304 ,  H01J37/305

Abstract: 本发明提供一种对基于FIB的加工时的加工位置偏差以及加工尺寸偏差进行补正的技术。聚焦离子束装置的控制方法具有：在第1加工视野中通过聚焦离子束的照射在试样表面形成第1加工图形的工序(S102)；基于第1加工图形的外形尺寸，决定接下来的第2加工视野的位置的工序(S103)；以及使台座移动到所决定的第2加工视野的位置的工序(S106、S107)。还具有：在第2加工视野中通过聚焦离子束的照射形成第2加工图形的工序(S108)。

公开(公告)号：CN117425614A

公开(公告)日：2024-01-19

申请号：CN202280040291.X

申请日：2022-04-21

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 山根庆大 ,  马场理香 ,  沟口崇子 ,  松井一真 ,  森下真年 ,  竹本启辅

IPC: B66B27/00

Abstract: 本发明提供一种诊断乘客输送机的异常的诊断系统，该乘客输送机通过使连结成环状的多个梯级循环移动来输送乘客，所述诊断系统包括：诊断用梯级，其包括在所述多个梯级中，具有至少包括磁传感器在内的1个以上的诊断用传感器；磁分布图生成部，其用于生成磁分布图，该磁分布图表示所述诊断用梯级循环一圈期间的所述乘客输送机中的位置与所述磁传感器的检测值的相关关系；位置推算部，其基于所述磁分布图和循环移动时的所述磁传感器的检测值，推算所述乘客输送机中的检测出所述诊断用传感器的检测值的位置；和异常诊断部，其基于所述诊断用传感器的检测值进行异常诊断。

公开(公告)号：CN108573844A

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201810125436.1

申请日：2018-02-07

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 渡边敬司 ,  峰利之 ,  志知广康 ,  森下真年

IPC: H01J37/304 ,  H01J37/305

Abstract: 本发明提供一种对基于FIB的加工时的加工位置偏差以及加工尺寸偏差进行补正的技术。聚焦离子束装置的控制方法具有：在第1加工视野中通过聚焦离子束的照射在试样表面形成第1加工图形的工序(S102)；基于第1加工图形的外形尺寸，决定接下来的第2加工视野的位置的工序(S103)；以及使台座移动到所决定的第2加工视野的位置的工序(S106、S107)。还具有：在第2加工视野中通过聚焦离子束的照射形成第2加工图形的工序(S108)。

公开(公告)号：CN114763242A

公开(公告)日：2022-07-19

申请号：CN202210021260.1

申请日：2022-01-10

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 松井一真 ,  马场理香 ,  沟口崇子 ,  森下真年 ,  山根庆大 ,  山中直辉

IPC: B66B29/00 ,  B66B21/04

Abstract: 本发明提供一种乘客输送机、乘客引导系统以及计算机可读取的存储介质，能够对跌倒风险高的乘客引导搭乘姿势。设有：检测器，其对接近乘客输送机的搭乘口的乘客进行检测；显示器，其进行用于将乘客引导为预定的搭乘姿势的引导显示；计算部，其使用在检测器中检测出的检测信息，计算出用于判定乘客搭乘乘客输送机时是否跌倒的跌倒风险；以及控制部，其根据计算部计算出的跌倒风险，对显示器进行控制以便进行引导显示。