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发明授权
基板输送装置和基板的倾斜校正方法失效转让

公开(公告)号：CN102285527B

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201110121591.4

申请日：2011-05-12

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 市村久 , 海津拓哉 , 中山幸徳 , 山本立春 , 石田刚

IPC: B65G43/08 , B65G49/05 , B65G47/24

Abstract: 本发明提供一种基板输送装置和基板的倾斜校正方法，能够在基板移动着的状态下进行基板的倾斜校正。基板输送线路(5)由相对下基板(1)的输送方向(箭头)左侧的左侧辊式输送机(5L)和右侧的右侧输送机(5R)构成。如摘要附图所示，在所输送的下基板(1)倾斜的情况下，辊式输送机(5L、5R)中的基板检测传感器(24a、24b)根据检测到该下基板(1)各个的边部的定时的时间差来检测该倾斜的大小和方向，根据该检测结果使基于辊式输送机(5L、5R)中的某一侧的辊子(21a或者21b)的输送速度与稳定速度不同，使下基板(1)旋转该倾斜角度。

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