生产含氟聚酰亚胺膜的方法和设备

    公开(公告)号:CN1569995A

    公开(公告)日:2005-01-26

    申请号:CN200410033084.5

    申请日:2004-03-08

    Abstract: 提供一种生产具有突出的耐热性、耐化学药品性、防水性、绝缘性、电性能和光学性能的含氟聚酰亚胺膜的方法和适用于该方法的旋转涂布机。提供一种生产聚酰亚胺膜的方法,该方法包括在将相对湿度调至不大于50RH%的气氛中使含氟聚酰亚胺前体形成涂布膜,然后对该含氟聚酰亚胺前体进行热处理从而形成含氟聚酰亚胺膜。按照该方法,通过调节相对湿度可以防止含氟聚酰亚胺前体的吸水分解,从而有效地防止含氟聚酰亚胺膜形成梨形点和擦痕。进而言之,通过保持向涂布膜喷射气体,尤其是在旋转涂布的过程中,使其在涂布膜上形成气流层来形成涂布膜,可以防止在旋转涂布机中产生的涂层溶液的雾状物质重新粘着到涂布膜上,从而确保具有均一质量的涂布膜的生产。通过在旋转涂布机上提供盖和在盖上设置气体输入口而使气流层的形成变得容易。

    含有醇式羟基、芳环、和质子性离去基团的共聚物

    公开(公告)号:CN1458178A

    公开(公告)日:2003-11-26

    申请号:CN03122274.9

    申请日:2003-04-25

    CPC classification number: C08F246/00 G03F7/0392

    Abstract: 本发明就所述先有技术而言的目的在于,提供一种含有质子性离去基团的共聚物,它在特性上表现出高度的改变,如自由质子处理后与该处理前相比在碱性水溶液中的溶解性、对基片的粘附性、显影性、耐化学性和耐蚀刻性,并且该共聚物能适当地用于各种应用领域。本发明涉及含有质子性离去基团的共聚物,它具有各自通过一个碳原子与其主链相连的羟基、芳环和质子性离去基团,并且所述的含有质子性离去基团的共聚物在质子性离去基团消除之前表现出20×10-10~1,500×10-10米/秒的碱溶解性。

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