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公开(公告)号：CN111705296A
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN202010180279.1
申请日：2020-03-16
Applicant: 株式会社日本显示器
Abstract: 本发明提供一种蒸镀掩模的制造方法。多次扫描曝光(SE)包括彼此相邻的扫描区域的端部重叠的第1扫描曝光(SE1)和第2扫描曝光(SE2)。第1扫描曝光(SE1)所划定的一组高溶解区域(34)包括第1高溶解区域(34A)。第2扫描曝光(SE2)所划定的一组高溶解区域(34)包括第2高溶解区域(34B)。在第1扫描曝光(SE1)中，在多行的彼此相邻的一对行(L1、L2)中，将第1高溶解区域(34A)划定于避开沿第1方向(D1)的直线方向而在倾斜方向上偏离的位置。在第2扫描曝光(SE2)中，在一对行(L1、L2)中，将第2高溶解区域(34B)划定于在倾斜方向上偏离的位置。由此能够形成高精度的蒸镀掩模。
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公开(公告)号：CN110730981B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201880037586.5
申请日：2018-03-08
Applicant: 株式会社日本显示器
IPC: G09F9/00 , G02F1/1345 , G09F9/30 , H01L27/32 , H01L51/50 , H05B33/02 , H05B33/12 , H05B33/14 , H05B33/22 , H05K1/02
Abstract: 多个布线的基底面在第二区域具有台阶部，该台阶部包括彼此高度不同且在第二方向上相邻的多个上表面、和从除了最上表面以外的多个上表面分别立起的踢面。除了最上表面以外的多个上表面的每一个与踢面在相邻的布线之间具有向各个面的法线方向隆起的凸部，在布线的正下方构成第一入角部，在踢面的法线方向上且在凸部的前端构成第二入角部。在相邻的布线之间具有第一间隔。第一入角部具有第一高度。第二入角部具有第二高度以及第一方向上的第二宽度。成为第二宽度比第一间隔小、以及第二高度比第一高度低的至少一方。
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公开(公告)号：CN110730981A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201880037586.5
申请日：2018-03-08
Applicant: 株式会社日本显示器
IPC: G09F9/00 , G02F1/1345 , G09F9/30 , H01L27/32 , H01L51/50 , H05B33/02 , H05B33/12 , H05B33/14 , H05B33/22 , H05K1/02
Abstract: 多个布线的基底面在第二区域具有台阶部，该台阶部包括彼此高度不同且在第二方向上相邻的多个上表面、和从除了最上表面以外的多个上表面分别立起的踢面。除了最上表面以外的多个上表面的每一个与踢面在相邻的布线之间具有向各个面的法线方向隆起的凸部，在布线的正下方构成第一入角部，在踢面的法线方向上且在凸部的前端构成第二入角部。在相邻的布线之间具有第一间隔。第一入角部具有第一高度。第二入角部具有第二高度以及第一方向上的第二宽度。成为第二宽度比第一间隔小、以及第二高度比第一高度低的至少一方。
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公开(公告)号：CN111705296B
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202010180279.1
申请日：2020-03-16
Applicant: 株式会社日本显示器
Abstract: 本发明提供一种蒸镀掩模的制造方法。多次扫描曝光(SE)包括彼此相邻的扫描区域的端部重叠的第1扫描曝光(SE1)和第2扫描曝光(SE2)。第1扫描曝光(SE1)所划定的一组高溶解区域(34)包括第1高溶解区域(34A)。第2扫描曝光(SE2)所划定的一组高溶解区域(34)包括第2高溶解区域(34B)。在第1扫描曝光(SE1)中，在多行的彼此相邻的一对行(L1、L2)中，将第1高溶解区域(34A)划定于避开沿第1方向(D1)的直线方向而在倾斜方向上偏离的位置。在第2扫描曝光(SE2)中，在一对行(L1、L2)中，将第2高溶解区域(34B)划定于在倾斜方向上偏离的位置。由此能够形成高精度的蒸镀掩模。
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