公开(公告)号：CN109234705A

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201810722262.7

申请日：2018-06-29

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 鹫尾圭亮 ,  中田真生

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/50

CPC classification number: H01J37/32559 ,  C23C16/45536 ,  C23C16/45544 ,  H01J37/32605 ,  H01J2237/327 ,  H01J2237/3321 ,  H01J2237/3323 ,  H01L21/02178 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/28194 ,  C23C16/4401

Abstract: 本发明提供一种电浆原子层成长装置(100)，具有：下部电极(BE)，用于保持基板(1S)；上部电极(UE)，具有与下部电极(BE)相对的对向面，且用于与下部电极(BE)之间产生电浆放电；此外，电浆原子层成长装置(100)具备导体防附着部件(10a)，其通过多个螺丝(13a)固定于上部电极(UE)的对向面上；及导体防附着部件(10b)，其通过多个螺丝(13b)固定于导体防附着部件(10a)。此时，于俯视平面中，多个螺丝(13a)与多个螺丝(13b)为互相不重叠。

公开(公告)号：CN109385619A

公开(公告)日：2019-02-26

申请号：CN201810827079.3

申请日：2018-07-25

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 寅丸雅光 ,  鹫尾圭亮 ,  千叶理树 ,  中田真生

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/50

CPC classification number: C23C16/4405 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/45538 ,  C23C16/45542 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45591 ,  C23C16/545 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/45536

Abstract: 为抑制于基板上形成的膜的膜质劣化，电浆原子层成长装置(1)具备：原料气体供给口(14)，设置于成膜容器(1)的成膜容器(1A)的第一侧壁，且还具有作为清洁气体供给口的功能；原料气体排出口(15)，设置于成膜容器(1A)的第二侧壁，且还具有作为清洁气体排出口的功能。