公开(公告)号：CN115938981A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202211141533.2

申请日：2022-09-20

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 伊豆田崇 ,  田尻博纪 ,  折坂昌幸

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供一种衬底处理方法及衬底处理装置。衬底处理方法是通过衬底处理装置(100)来执行的。衬底处理装置(100)具备处理槽(110)、及配置在处理槽(110)的内部的气泡供给管(21)。衬底处理方法中，衬底保持部(120)将衬底(W)浸渍于处理槽(110)中所贮存的碱性处理液(LQ)中。气泡供给部(200)在衬底(W)浸渍于碱性处理液(LQ)中的状态下，从衬底(W)的下方对碱性处理液(LQ)，从设置在气泡供给管(21)的多个气泡孔(G)的各者供给气泡(BB)。

公开(公告)号：CN219418960U

公开(公告)日：2023-07-25

申请号：CN202223141474.7

申请日：2022-11-25

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 田尻博纪 ,  折坂昌幸

IPC: H01L21/67

Abstract: 本实用新型的目的在于提供一种不管接触角如何都能使气泡容易地从气泡供给管脱离的衬底处理装置。在处理槽的内部形成朝向上方的处理液的层流，并将衬底浸渍于所述处理液中。在处理槽的内部配置多根气泡供给管(51)，所述多根气泡供给管(51)从衬底的下方将气泡供给到贮存在处理槽的处理液中。在气泡供给管(51)的两侧面形成设置喷出气泡的多个气泡孔(65)，至少在各气泡孔(65)的上方，沿铅直方向立设将从所述气泡孔(65)喷出的气泡向上方诱导的板状的引导体(60)。从气泡孔(65)喷出的气泡由沿铅直方向立设的引导体(60)导引上升并释放到处理液中，不管气泡供给管(51)的材质的接触角如何，气泡都能容易从气泡供给管(51)脱离。