公开(公告)号：CN108200778B

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN201680064974.3

申请日：2016-10-13

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 山本真弘

IPC: H01L21/02 ,  B65G49/07 ,  H01L21/304 ,  H01L21/677

Abstract: 控制部51在对某基板W配置使用处理部SPIN1～SPIN12的资源的处理时，在处理部SPIN1～SPIN12的维护处理达到寿命的情况下，基于由用户预先设定的优先设定，在优先设定为基板处理优先的情况下，配置基板W的处理，在优先设定为维护优先的情况下，在基板W的处理前配置维护处理。因此，能够进行反映用户对于优先处理的期望的处理。

公开(公告)号：CN112400214B

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN201980045760.5

申请日：2019-09-03

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 桥本光治 ,  清水进二 ,  堀口博司 ,  山本真弘

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/304 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明的目的在于提升基板处理装置以及基板处理系统的各个处理单元中的处理的精度。基板处理装置具有多个处理单元、搬运单元、多个传感器部、存储部以及一个以上的控制单元。多个处理单元根据规定处理的条件的规程对基板实施处理。搬运单元将一组基板中的多个基板依次搬运至多个处理单元。多个传感器部取得关于各个处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的信号。存储部基于多个传感器部所取得的信号，存储关于各个处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的数据组。一个以上的控制单元针对使用一个以上的处理单元对一组基板中的至少一片以上的基板进行的处理，基于数据组修正规程的至少一部分。

公开(公告)号：CN112655073B

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN201980058138.8

申请日：2019-09-06

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 桥本光治 ,  清水进二 ,  堀口博司 ,  山本真弘

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明的目的在于，减少在进行基板处理的装置、系统以及方法中使用的数据量。为了达到上述目的，基板处理装置具有：一个以上的处理单元，对基板分别进行处理；以及一个以上的运算处理部。一个以上的运算处理部通过使用以分别规定与在一个以上的处理单元中对基板实施的处理相关的处理的条件的多个处理规程中的两个以上的处理规程组合，来制作用以规定关于基板的一连串的处理的流程的流程规程。多个处理规程包括分别规定使用处理液对基板实施的处理的条件的多个液体处理规程。

公开(公告)号：CN112655073A

公开(公告)日：2021-04-13

申请号：CN201980058138.8

申请日：2019-09-06

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 桥本光治 ,  清水进二 ,  堀口博司 ,  山本真弘

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明的目的在于，减少在进行基板处理的装置、系统以及方法中使用的数据量。为了达到上述目的，基板处理装置具有：一个以上的处理单元，对基板进行处理；以及一个以上的运算处理部。一个以上的运算处理部通过使用以分别规定与在一个以上的处理单元中对基板实施的处理相关的处理的条件的多个处理规程中的两个以上的处理规程组合，来制作用以规定关于基板的一连串的处理的流程的流程规程。多个处理规程包括分别既定使用处理液对基板实施的处理的条件的多个液体处理规程。

公开(公告)号：CN108200778A

公开(公告)日：2018-06-22

申请号：CN201680064974.3

申请日：2016-10-13

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 山本真弘

IPC: H01L21/02 ,  B65G49/07 ,  H01L21/304 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/07 ,  H01L21/02 ,  H01L21/304 ,  H01L21/677 ,  Y02P90/02 ,  Y02P90/14

Abstract: 控制部51在对某基板W配置使用处理部SPIN1～SPIN12的资源的处理时，在处理部SPIN1～SPIN12的维护处理达到寿命的情况下，基于由用户预先设定的优先设定，在优先设定为基板处理优先的情况下，配置基板W的处理，在优先设定为维护优先的情况下，在基板W的处理前配置维护处理。因此，能够进行反映用户对于优先处理的期望的处理。

公开(公告)号：CN119965129A

公开(公告)日：2025-05-09

申请号：CN202510152798.X

申请日：2019-09-06

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 桥本光治 ,  清水进二 ,  堀口博司 ,  山本真弘

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明的目的在于，减少在进行基板处理的装置、系统以及方法中使用的数据量。为了达到上述目的，基板处理装置具有：一个以上的处理单元，对基板分别进行处理；以及一个以上的运算处理部。一个以上的运算处理部通过使用以分别规定与在一个以上的处理单元中对基板实施的处理相关的处理的条件的多个处理规程中的两个以上的处理规程组合，来制作用以规定关于基板的一连串的处理的流程的流程规程。多个处理规程包括分别规定使用处理液对基板实施的处理的条件的多个液体处理规程。

公开(公告)号：CN118969676A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202411047290.5

申请日：2019-09-03

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 桥本光治 ,  清水进二 ,  堀口博司 ,  山本真弘

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明的目的在于提升基板处理装置以及基板处理系统的各个处理单元中的处理的精度。基板处理装置具有多个处理单元、搬运单元、多个传感器部、存储部以及一个以上的控制单元。多个处理单元根据规定处理的条件的规程对基板实施处理。搬运单元将一组基板中的多个基板依次搬运至多个处理单元。多个传感器部取得关于各个处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的信号。存储部基于多个传感器部所取得的信号，存储关于各个处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的数据组。一个以上的控制单元针对使用一个以上的处理单元对一组基板中的至少一片以上的基板进行的处理，基于数据组修正规程的至少一部分。

公开(公告)号：CN112400214A

公开(公告)日：2021-02-23

申请号：CN201980045760.5

申请日：2019-09-03

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 桥本光治 ,  清水进二 ,  堀口博司 ,  山本真弘

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/304 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明的目的在于提升基板处理装置以及基板处理系统的各个处理单元中的处理的精度。基板处理装置具有多个处理单元、搬运单元、多个传感器部、存储部以及一个以上的控制单元。多个处理单元根据规定处理的条件的规程对基板实施处理。搬运单元将一组基板中的多个基板依次搬运至多个处理单元。多个传感器部取得关于各个处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的信号。存储部基于多个传感器部所取得的信号，存储关于各个处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的数据组。一个以上的控制单元针对使用一个以上的处理单元对一组基板中的至少一片以上的基板进行的处理，基于数据组修正规程的至少一部分。