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公开(公告)号：CN1744810A
公开(公告)日：2006-03-08
申请号：CN200410098429.5
申请日：2004-12-10
Applicant: 株式会社弘辉技术
Inventor： 芨川敬祐
IPC: H05K13/00 , H05K3/00
Abstract: 本发明公开一种切实防止搬运中基板翘曲的基板搬运装置，该装置包括一对辊列(1、2)，该辊列分别从上下两面夹持基板P的两侧边缘。构成辊列(1、2)各辊(11、21)旋转轴的轴线(X)相对于垂直于基板(P)输送方向的线(Y)向基板P输送方向一侧倾斜。
