公开(公告)号：CN102027353B

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN200880129204.8

申请日：2008-05-15

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 小田一郎 ,  矢岛敦 ,  樋爪健太郎 ,  目贺章正 ,  上挂惟史 ,  藏谷丰 ,  藤田健 ,  纲泽义夫

IPC: G01N21/64 ,  G06T1/00

CPC classification number: G01N21/6456 ,  G01N21/6486 ,  G01N21/763 ,  H04N5/2254 ,  H04N13/218

Abstract: 用于从多个方向观察试样保持构件上的试样并且将从试样发出的各方向的光的图像经过主成像透镜引向二维检测器的方向的导光路包括不接受直接来自试样的光的导光路。不接受直接来自试样的光的导光路包括被配置成将试样的像形成在主成像透镜的实质对焦范围内并且使形成像之后的光线射向主成像透镜的方向的光学元件。至少一个导光路的光学元件是形成实像的光学元件。由此，主成像透镜将试样以及这些实像同时成像在二维检测器上。

公开(公告)号：CN102027353A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200880129204.8

申请日：2008-05-15

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 小田一郎 ,  矢岛敦 ,  樋爪健太郎 ,  目贺章正 ,  上挂惟史 ,  藏谷丰 ,  藤田健 ,  纲泽义夫

IPC: G01N21/64 ,  G06T1/00

CPC classification number: G01N21/6456 ,  G01N21/6486 ,  G01N21/763 ,  H04N5/2254 ,  H04N13/218

Abstract: 用于从多个方向观察试样保持构件上的试样并且将从试样发出的各方向的光的图像经过主成像透镜引向二维检测器的方向的导光路包括不接受直接来自试样的光的导光路。不接受直接来自试样的光的导光路包括被配置成将试样的像形成在主成像透镜的实质对焦范围内并且使形成像之后的光线射向主成像透镜的方向的光学元件。至少一个导光路的光学元件是形成实像的光学元件。由此，主成像透镜将试样以及这些实像同时成像在二维检测器上。