公开(公告)号：CN116802478A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202180091638.9

申请日：2021-12-08

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 大野隆 ,  井原正博 ,  丸野浩昌 ,  松冈谕史 ,  松谷惠利 ,  古贺裕介

IPC: G01N21/3563

Abstract: 本发明涉及一种光学检查装置，是对对象物进行光学检查的光学检查装置，具备：施力部(20)，对存在于载置台(22)上的对象物组(23A)施加使该检查对象物相对于载置台移动的力；捕捉部(24)，具有使从载置台移动的所述对象物组中的各对象物附着的附着部(241)；分析部(3)，对捕捉部捕捉到的对象物进行光学分析。由此，能够消除逐个拾取微塑料的手工作业，有效且良好地进行每个微塑料的光学分析。

公开(公告)号：CN106165053A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201480059512.3

申请日：2014-11-19

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 浮田昌昭 ,  和泉拓朗 ,  古贺裕介

IPC: H01J35/04 ,  H01J1/46 ,  H01J35/14

CPC classification number: H01J35/14 ,  H01J35/04 ,  H01J35/06 ,  H01J35/08

Abstract: 使用具备厚度为10nm以上的钝化膜(33a)的金属作为用以在真空中产生电场的金属电极(聚焦杯电极)(33)。由不锈钢形成金属电极(33)，将所述不锈钢浸渍在处理液中进行皮膜处理(钝化处理)，由此，能够将钝化膜(33a)形成得比10nm更厚。这样，因为钝化膜(33a)比10nm更厚，所以表面均一且密接性优异，针孔也少，因此，能够提高耐电压性能。