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发明公开
测定装置及测定装置的制造方法审中-实审

公开(公告)号：CN118556192A

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN202380017492.2

申请日：2023-01-18

Applicant: 株式会社小糸制作所

Inventor： 出口博久 , 伊豆川洸司 , 小石川直生 , 设乐美月 , 山﨑敦之 , 大长敬直 , 樱井一利

IPC: G01S7/481 , G01C3/06 , G01S17/931 , H01L31/12

Abstract: 本发明所涉及的测定装置(1)具有：传感器单元(10)，其具有射出光的发光元件(11)和对反射光进行受光的受光元件(12)；光学单元(20)，其将从发光元件(11)射出的光照射至对象物，并且使受光元件(12)对反射光进行受光；保持架(40)，其将传感器单元(10)和光学单元(20)能够相对移动地保持；基板(50)，其固定于保持架(40)；以及能够变形的支撑部件(80)，其从保持架(40)对基板(50)的端部进行支撑。

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