单体、光致抗蚀剂用树脂、光致抗蚀剂用树脂组合物以及图案形成方法

    公开(公告)号:CN114206954B

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202080055728.8

    申请日:2020-06-18

    Abstract: 本发明提供一种提高在有机溶剂中的溶解性、水解性、水解后在水中的溶解性,并且对树脂赋予更高的耐热性的单体。一种光致抗蚀剂用树脂,该光致抗蚀剂用树脂包含下述式(Y)所示的聚合单元#imgabs0#[式中,Rh表示卤素原子或具有卤素原子的碳原子数1~6的烷基。R1是与环键合的取代基,表示卤素原子、任选地具有卤素原子的碳原子数1~6的烷基、羟基部分任选地被保护基团保护且任选地具有卤素原子的碳原子数1~6的羟基烷基、任选地形成盐的羧基、或取代氧基羰基。A表示碳原子数1~6的亚烷基、氧原子、硫原子、或未键合。m为R1的个数,表示0~8的整数。X表示吸电子取代基,n为X的个数,表示1~9的整数。B表示单键或连接基团。与聚合物链键合的COOB‑基的立体位置任选地为内型、外型之一。]。

    氢化酚化合物的制造方法、以及氢化酚化合物的分离方法

    公开(公告)号:CN105849074A

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201480071244.7

    申请日:2014-11-04

    CPC classification number: C07C29/20 C07C29/82 C07C29/94 C07C2603/14 C07C35/21

    Abstract: 本发明提供能够削减溶剂的使用量、可以以容易操作的状态制造高纯度的氢化酚化合物的工业上容易的方法。一种氢化酚化合物的制造方法,其为利用下述式(1)表示的化合物的氢化反应制造下述式(2)表示的化合物的方法,其中,将二元醇作为反应溶剂进行上述氢化反应,然后,将利用所述氢化反应得到的含有式(2)表示的化合物和二元醇的氢化反应物,与选自碳原子数7~18的脂肪族烃、碳原子数7~18的芳族烃、以及不含有羟基的碳原子数7~18的醚中的至少一种化合物共存并进行蒸馏,从上述氢化反应物中分离二元醇。[式(1)中,X表示单键、亚烷基、亚环烷基、或环烷叉。R1及R2相同或不同,表示碳原子数1~5的烷基。m及n相同或不同,表示0~4的整数。][式(2)中,X、R1、R2、m及n与上述相同。]

    共聚物、包含该共聚物的固化性树脂组合物、及其固化物

    公开(公告)号:CN110885401B

    公开(公告)日:2023-06-13

    申请号:CN201910846897.2

    申请日:2019-09-09

    Abstract: 本发明提供一种保存稳定性优异、即使在较低温度下也会发生固化、并且固化物的耐溶剂性优异的共聚物、包含该共聚物的固化性树脂组合物、及其固化物。本发明的共聚物包含:源自不饱和羧酸或其酸酐的结构单元(A)和源自下述式(1)所示的化合物的结构单元(B),其中,使用差示扫描量热仪以5℃/分的速度升温时显示的该共聚物的放热峰值温度为180~220℃。(式(1)中,R1和R2相同或不同,表示氢原子或碳原子数1~7的烷基,X表示单键或任选包含杂原子的二价烃基,Y表示任选具有碳原子数1~3的烷基作为取代基的亚甲基或亚乙基、氧原子、或任选与氧原子键合的硫原子,n表示0~7的整数。)。

    单体、光致抗蚀剂用树脂、光致抗蚀剂用树脂组合物以及图案形成方法

    公开(公告)号:CN114206954A

    公开(公告)日:2022-03-18

    申请号:CN202080055728.8

    申请日:2020-06-18

    Abstract: 本发明提供一种提高在有机溶剂中的溶解性、水解性、水解后在水中的溶解性,并且对树脂赋予更高的耐热性的单体。一种光致抗蚀剂用树脂,该光致抗蚀剂用树脂包含下述式(Y)所示的聚合单元[式中,Rh表示卤素原子或具有卤素原子的碳原子数1~6的烷基。R1是与环键合的取代基,表示卤素原子、任选地具有卤素原子的碳原子数1~6的烷基、羟基部分任选地被保护基团保护且任选地具有卤素原子的碳原子数1~6的羟基烷基、任选地形成盐的羧基、或取代氧基羰基。A表示碳原子数1~6的亚烷基、氧原子、硫原子、或未键合。m为R1的个数,表示0~8的整数。X表示吸电子取代基,n为X的个数,表示1~9的整数。B表示单键或连接基团。与聚合物链键合的COOB‑基的立体位置任选地为内型、外型之一。]。

    共聚物、包含该共聚物的固化性树脂组合物、及其固化物

    公开(公告)号:CN110885401A

    公开(公告)日:2020-03-17

    申请号:CN201910846897.2

    申请日:2019-09-09

    Abstract: 本发明提供一种保存稳定性优异、即使在较低温度下也会发生固化、并且固化物的耐溶剂性优异的共聚物、包含该共聚物的固化性树脂组合物、及其固化物。本发明的共聚物包含:源自不饱和羧酸或其酸酐的结构单元(A)和源自下述式(1)所示的化合物的结构单元(B),其中,使用差示扫描量热仪以5℃/分的速度升温时显示的该共聚物的放热峰值温度为180~220℃。 (式(1)中,R1和R2相同或不同,表示氢原子或碳原子数1~7的烷基,X表示单键或任选包含杂原子的二价烃基,Y表示任选具有碳原子数1~3的烷基作为取代基的亚甲基或亚乙基、氧原子、或任选与氧原子键合的硫原子,n表示0~7的整数。)。

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