公开(公告)号：CN120022617A

公开(公告)日：2025-05-23

申请号：CN202411632038.0

申请日：2024-11-15

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 大场秀宪 ,  河角一甫

IPC: B01D1/00 ,  F17D3/01 ,  B01D1/30 ,  B01J4/02

Abstract: 本发明提供一种液体材料气化装置及其动作设定方法。在气体生成模式下进行动作，使得液体材料通过被设定为规定的第1开度的第1开闭阀(V1)从供给流道(R1)供给到容器(1)，在净化模式下进行动作，使得净化气体从供给流道(R1)通过被设定为比第1开度大的第2开度的第1开闭阀(V1)导入容器(1)。

公开(公告)号：CN102338715A

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：CN201110195932.2

申请日：2011-07-13

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 大场秀宪 ,  长野忠幸

IPC: G01N1/44

CPC classification number: H01L21/67109 ,  B01B1/06 ,  G01K1/18

Abstract: 本发明提供一种液体试样加热汽化装置，能够提高液体试样的温度控制的响应性和精度，所述液体试样加热汽化装置包括：汽化罐(21)，储存液体试样；一个或多个加热器(22)，设置在汽化罐(21)内，具有与液体试样接触并对其进行加热的加热部(22h)；温度检测部，与所述加热器(22)的包括加热部(22h)的外表面接触设置，检测该外表面的温度；以及控制部(25)，接受来自温度检测部的温度检测信号，控制向所述加热器(22)供给的电力。

公开(公告)号：CN106959241A

公开(公告)日：2017-07-18

申请号：CN201611241356.X

申请日：2011-07-13

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 大场秀宪 ,  长野忠幸

IPC: G01N1/44 ,  G01K1/18 ,  B01D1/00 ,  B01D1/30

CPC classification number: H01L21/67109 ,  B01B1/06 ,  G01K1/18 ,  G01N1/44 ,  B01D1/0017 ,  B01D1/0082 ,  B01D1/30

Abstract: 本发明提供一种液体试样加热汽化装置，能够提高液体试样的温度控制的响应性和精度，所述液体试样加热汽化装置包括：汽化罐(21)，储存液体试样；一个或多个加热器(22)，设置在汽化罐(21)内，具有与液体试样接触并对其进行加热的加热部(22h)；温度检测部，与所述加热器(22)的包括加热部(22h)的外表面接触设置，检测该外表面的温度；液体温度检测部(24)，配置在所述汽化罐内，用于检测所述液体试样的温度；以及控制部(25)，接受来自所述加热器温度检测部的温度检测信号和来自所述液体温度检测部的温度检测信号，并利用级联控制，对与所述加热器连接的电源进行控制。