多芯套圈用研磨材料
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112384329B

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN201980045041.3

    申请日:2019-11-12

    Inventor: 富冈祐辅

    Abstract: 本发明提供一种适于研磨多芯套圈的多芯套圈用研磨材料。解决上述课题的本发明的多芯套圈用研磨材料具有由树脂材料构成的粘合剂和分散在上述粘合剂中的磨粒。而且,以上述磨粒和上述粘合剂的质量之和为基准,含有88.5%以上的上述磨粒,以上述磨粒的质量为基准,存在70%以上且小于100%的粒径100nm以下的粒子,上述磨粒由二氧化硅构成。

    多芯套圈用研磨材料
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112384329A

    公开(公告)日:2021-02-19

    申请号:CN201980045041.3

    申请日:2019-11-12

    Inventor: 富冈祐辅

    Abstract: 本发明提供一种适于研磨多芯套圈的多芯套圈用研磨材料。解决上述课题的本发明的多芯套圈用研磨材料具有由树脂材料构成的粘合剂和分散在上述粘合剂中的磨粒。而且,以上述磨粒和上述粘合剂的质量之和为基准,含有88.5%以上的上述磨粒,以上述磨粒的质量为基准,存在70%以上且小于100%的粒径100nm以下的粒子,上述磨粒由二氧化硅构成。

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