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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101146741B
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN200680009747.7
申请日：2006-03-27
Applicant: 株式会社丰田自动织机 , 国立大学法人爱媛大学
CPC classification number: C23C16/26 , B01J19/088 , B01J2219/0809 , B01J2219/083 , B01J2219/0877 , H05H1/46 , H05H1/48 , H05H2001/466
Abstract: 本发明所述用于制造无定形碳膜的方法是用于制造无定形碳膜的方法，包括将基底S的表面与气泡B接触，其中该气泡已经形成于含有有机化合物的液体L中，并且气泡内部已经产生等离子体，从而在基底S的表面上形成无定形碳膜，所述液体L包含选自碳数目为1到12的酚和醇中的一种或多种。根据本发明的方法，硬的无定形碳膜可以很容易地形成。
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公开(公告)号：CN101112132A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200580047253.3
申请日：2005-12-02
Applicant: 株式会社丰田自动织机 , 国立大学法人爱媛大学
CPC classification number: B01J19/088 , B01J2219/0809 , B01J2219/0835 , B01J2219/0877 , H05H1/46 , H05H1/48 , H05H2001/466
Abstract: 根据本发明的液体中等离子电极1是在液体L中产生等离子的液体中等离子电极，具有导电元件11和绝缘元件16，其导电元件11具有与液体L接触的放电端表面111，其绝缘元件16覆盖导电元件11的至少除放电端表面111之外的外围。d和x优选满足－2d≤x≤2d，其中当具有放电端表面11的导电元件11的导电端部分110具有大致的圆形横截面时，d是横截面短轴的长度，或者，当导电端部分110具有大致的矩形横截面时，d是横截面短边的长度，而当参照平面161是与放电端表面111大致平行的绝缘元件16的端表面161时，x是从参照平面161到含有放电端表面111的平面的距离。由于该结构，可提供能在多种液体，包括导电液体，例如水和醇中简便地产生等离子的液体中等离子电极，还有具有这种电极的液体中等离子产生装置和采用这种电极的液体中等离子产生方法。
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公开(公告)号：CN101112132B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200580047253.3
申请日：2005-12-02
Applicant: 株式会社丰田自动织机 , 国立大学法人爱媛大学
CPC classification number: B01J19/088 , B01J2219/0809 , B01J2219/0835 , B01J2219/0877 , H05H1/46 , H05H1/48 , H05H2001/466
Abstract: 根据本发明的液体中等离子电极1是在液体L中产生等离子的液体中等离子电极，具有导电元件11和绝缘元件16，其导电元件11具有与液体L接触的放电端表面111，其绝缘元件16覆盖导电元件11的至少除放电端表面111之外的外围。d和x优选满足-2d≤x≤2d，其中当具有放电端表面11的导电元件11的导电端部分110具有大致的圆形横截面时，d是横截面短轴的长度，或者，当导电端部分110具有大致的矩形横截面时，d是横截面短边的长度，而当参照平面161是与放电端表面111大致平行的绝缘元件16的端表面161时，x是从参照平面161到含有放电端表面111的平面的距离。由于该结构，可提供能在多种液体，包括导电液体，例如水和醇中简便地产生等离子的液体中等离子电极，还有具有这种电极的液体中等离子产生装置和采用这种电极的液体中等离子产生方法。
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公开(公告)号：CN101146741A
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200680009747.7
申请日：2006-03-27
Applicant: 株式会社丰田自动织机 , 国立大学法人爱媛大学
CPC classification number: C23C16/26 , B01J19/088 , B01J2219/0809 , B01J2219/083 , B01J2219/0877 , H05H1/46 , H05H1/48 , H05H2001/466
Abstract: 本发明所述用于制造无定形碳膜的方法是用于制造无定形碳膜的方法，包括将基底S的表面与气泡B接触，其中该气泡已经形成于含有有机化合物的液体L中，并且气泡内部已经产生等离子体，从而在基底S的表面上形成无定形碳膜，所述液体L包含选自碳数目为1到12的酚和醇中的一种或多种。根据本发明的方法，硬的无定形碳膜可以很容易地形成。
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公开(公告)号：CN100336586C
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN03807461.3
申请日：2003-03-31
Applicant: 国立大学法人爱媛大学
CPC classification number: H05H1/46 , A62D3/13 , A62D3/17 , A62D3/19 , A62D2101/22 , A62D2101/28 , A62D2203/10 , B01D19/0084 , B01J10/002 , B01J19/088 , B01J19/10 , B01J19/12 , B01J2219/0877 , B01J2219/0896 , B01J2219/1215 , B01J2219/1293 , C23C16/26 , C23C16/27 , C23C16/50 , C23C16/511 , H05H2001/463
Abstract: 用具有在液体中发生气泡的气泡发生装置和在液体中辐射电磁波的电磁波发生装置的液体中等离子体发生装置，使在液体中发生气泡的同时以电磁波辐照而产生等离子体，这样能实现虽为高能而宏观上为低温的，安全的，容易处理的等离子体，可用于在基板上成膜和用于分解二英等有害物质。
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