由废蚀刻剂制备精制磷酸的方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111170293A

    公开(公告)日:2020-05-19

    申请号:CN201911100421.0

    申请日:2019-11-12

    Abstract: 本发明公开了一种由废蚀刻剂制备精制磷酸的方法,所述废蚀刻剂在制备半导体或液晶显示器时用于蚀刻工序。所述精制磷酸的制备方法,包括:蒸馏包含金属离子、磷酸及水的蚀刻剂废液,得到经浓缩的磷酸水溶液的步骤;将包含钾离子的固态无机盐与所述经浓缩的磷酸水溶液混合的步骤;在所述磷酸水溶液中混合溶解磷酸但不溶解无机盐的有机不良溶剂,使所述无机盐晶体沉淀,同时使所述金属离子共沉淀的步骤;过滤并去除包含所述金属离子的无机盐晶体的步骤;以及蒸发通过所述过滤获得的滤液中的有机不良溶剂和水,以获得包含钾离子的磷酸的步骤。

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