公开(公告)号：CN103814412A

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201280045409.4

申请日：2012-12-06

Applicant: 株式会社东芝 ,  东芝电子管器件株式会社

Inventor： 千代间仁 ,  吉田笃也 ,  松山涉 ,  山本丰雄 ,  会田博之 ,  榛叶勇一

IPC: G21K4/00 ,  G01T1/20

CPC classification number: G01T1/20 ,  C23C14/0694 ,  C23C14/225 ,  C23C14/24 ,  C23C14/505 ,  G01T1/202

Abstract: 本发明的放射线检测面板的制造方法在蒸发源的正上方侧将光电转换基板配置成处于光电转换基板(21)的蒸镀面从蒸发源露出并相对于垂直轴倾斜的状态。通过蒸发源，使闪烁材料蒸发并将其向正上方辐射，使闪烁材料蒸镀于上述蒸镀面上，形成荧光体膜。

公开(公告)号：CN103814412B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201280045409.4

申请日：2012-12-06

Applicant: 东芝电子管器件株式会社

Inventor： 千代间仁 ,  吉田笃也 ,  松山涉 ,  山本丰雄 ,  会田博之 ,  榛叶勇一

IPC: G21K4/00 ,  G01T1/20

CPC classification number: G01T1/20 ,  C23C14/0694 ,  C23C14/225 ,  C23C14/24 ,  C23C14/505 ,  G01T1/202

Abstract: 本发明的放射线检测面板的制造方法在蒸发源的正上方侧将光电转换基板配置成处于光电转换基板(21)的蒸镀面从蒸发源露出并相对于垂直轴倾斜的状态。通过蒸发源，使闪烁材料蒸发并将其向正上方辐射，使闪烁材料蒸镀于上述蒸镀面上，形成荧光体膜。