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公开(公告)号：CN116779667A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202210811216.0
申请日：2022-07-11
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
IPC: H01L29/778
Abstract: 实施方式提供具有电流感测功能的氮化物半导体装置。实施方式的半导体装置具备：第一氮化物半导体层；第二氮化物半导体层，被设于第一氮化物半导体层上；漏极电极，具有多个漏极指部；源极电极，具有多个源极指部和与源极指部电连接的开尔文源极部；感测电极，位于漏极指部与开尔文源极部之间；以及栅极电极，位于漏极指部与源极指部之间和漏极指部与感测电极之间。感测电极与开尔文源极部经由基于第二方向上的感测电极与开尔文源极部的间隔的感测电阻而电连接。
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公开(公告)号：CN114256182A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202110016194.4
申请日：2021-01-07
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
Inventor： 小林仁
IPC: H01L23/485 , H01L23/48 , H01L29/778
Abstract: 一种可靠性优异的半导体装置，具备具有半导体层的半导体元件及设在半导体元件上的布线层，布线层具有第一至第三电极、绝缘膜、第一及第二电极焊盘，第一至第三电极位于半导体元件与绝缘膜之间，第二电极和第一电极焊盘绝缘，第一电极和第二电极焊盘绝缘，第一电极和第一电极焊盘电连接，第二电极和第二电极焊盘电连接，从第一电极和第一电极焊盘连接的部分的第一电极焊盘的第一面到半导体层的距离比从第二电极和第一电极焊盘绝缘的部分的第一电极焊盘的第一面到半导体层的距离大，从第二电极和第二电极焊盘连接的部分的第二电极焊盘的第一面到半导体层的距离比从第一电极和第二电极焊盘绝缘的部分的第二电极焊盘的第一面到半导体层的距离大。
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公开(公告)号：CN109119467A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201810047268.9
申请日：2018-01-18
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
Inventor： 小林仁
IPC: H01L29/423 , H01L29/78 , H01L21/336 , H01L21/28
Abstract: 本发明提供制造容易的半导体装置及其制造方法。实施方式的半导体装置具备：半导体板；第1电极部件，设置在半导体板内；第1绝缘膜，设置在半导体板的第1面上，覆盖第1电极部件；第1焊盘，设置在第1绝缘膜上，连接于第1面；第2焊盘，设置在第1绝缘膜上，与第1焊盘分离；以及接触件，将第2焊盘连接到第1电极部件。第1电极部件具有配置在第1焊盘的正下方区域的第1部分和配置在第2焊盘的正下方区域的第2部分。第1部分中的宽度方向两端部的上表面位于比第1部分中的宽度方向中央部的上表面靠上方的位置。第2部分的上表面中的宽度方向端部与宽度方向中央部的高度差小于第1部分的上表面中的宽度方向端部与宽度方向中央部的高度差。
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公开(公告)号：CN117747655A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202310175536.6
申请日：2023-02-28
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
IPC: H01L29/778 , H01L29/423
Abstract: 实施方式涉及半导体装置。实施方式的半导体装置具备氮化物半导体元件、第一二极管以及第二二极管，氮化物半导体元件包括导电性的安装基座、形成于安装基座之上的半导体基板、第一氮化物半导体层、第二氮化物半导体层、第一主电极、第二主电极、第一栅极电极和第二栅极电极，所述第一二极管包括与所述安装基座电连接的第一阳极电极和与所述第一主电极电连接的第一阴极电极，所述第二二极管包括与所述安装基座电连接的第二阳极电极和与所述第二主电极电连接的第二阴极电极。
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公开(公告)号：CN115117166A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202110842431.2
申请日：2021-07-26
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
IPC: H01L29/778 , H01L29/40
Abstract: 实施方式提供可靠性出色的半导体装置。实施方式的半导体装置具备：半导体层，具有元件区域和元件分离区域；第一绝缘膜，设置在半导体层上；第一电极，设置在第一绝缘膜上，并沿第一方向延伸；第二电极，设置在半导体层上，在与第一方向交叉的第二方向上排列并沿第一方向延伸；第三电极，设置在半导体层上，在第二方向上排列并沿第一方向延伸；第二绝缘膜，设置在第一绝缘膜与半导体层之间，沿第二方向夹着第三电极；第一场板电极，设置在第一电极上，与第一电极连接；第二场板电极，设置在第一场板电极上，与第二电极连接；以及第三场板电极，设置在第三电极上，与第三电极连接。第二绝缘膜从元件分离区域上延伸至元件区域上的一部分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114172123A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202110029580.7
申请日：2021-01-11
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
Abstract: 一种能应用于多种使用方案的半导体装置。半导体装置具备：半导体封装，半导体封装具有具备第一电极、第二电极和第一控制电极的n型沟道常断晶体管、具有电连接于第二电极的第三电极、第四电极和第二控制电极的常通晶体管、具有电连接于第二控制电极的第一阳极和电连接于第三电极的第一阴极的第一二极管及具有电连接于第一电极的第二阳极和电连接于第二电极的第二阴极的齐纳二极管；第一端子，设于半导体封装，电连接于第一电极；多个第二端子，电连接于第一电极，排列于第一方向上；第三端子，电连接于第四电极；多个第四端子，电连接于第一控制电极，排列于第一方向上；以及多个第五端子，电连接于第二控制电极，排列于第一方向上。
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公开(公告)号：CN114172123B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202110029580.7
申请日：2021-01-11
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
Abstract: 一种能应用于多种使用方案的半导体装置。半导体装置具备：半导体封装，半导体封装具有具备第一电极、第二电极和第一控制电极的n型沟道常断晶体管、具有电连接于第二电极的第三电极、第四电极和第二控制电极的常通晶体管、具有电连接于第二控制电极的第一阳极和电连接于第三电极的第一阴极的第一二极管及具有电连接于第一电极的第二阳极和电连接于第二电极的第二阴极的齐纳二极管；第一端子，设于半导体封装，电连接于第一电极；多个第二端子，电连接于第一电极，排列于第一方向上；第三端子，电连接于第四电极；多个第四端子，电连接于第一控制电极，排列于第一方向上；以及多个第五端子，电连接于第二控制电极，排列于第一方向上。
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公开(公告)号：CN117728655A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202211642084.X
申请日：2022-12-20
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
IPC: H02M1/088 , H02M1/32 , H01L25/16 , H01L23/488 , H01L23/498
Abstract: 实施方式涉及半导体装置。实施方式的半导体装置具备第一晶体管、包含第二晶体管的第一驱动电路、及包含第三晶体管的第二驱动电路。第二晶体管以及第三晶体管以串联的方式连接，其连接节点连接于第一晶体管的栅极电极。所述第一晶体管、所述第二晶体管以及所述第三晶体管是形成于包含GaN的第一基板的常关型的MOS型的HEMT。所述第一驱动电路对所述第一晶体管的寄生电容进行充电。所述第二驱动电路对所述第一晶体管的寄生电容进行放电。
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公开(公告)号：CN117690949A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202211657322.4
申请日：2022-12-22
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
IPC: H01L29/06 , H01L29/20 , H01L29/205 , H01L29/78
Abstract: 实施方式涉及氮化物半导体装置。实施方式的氮化物半导体装置具备：具有异质结的第一半导体层；设于所述第一半导体层上且具有另一异质结的第二半导体层；设于所述第二半导体层上的漏极电极；设于所述第一半导体层上的源极电极；栅极电极，设于所述第一半导体层上，配置于所述漏极电极与所述源极电极之间；以及第一绝缘膜，在所述栅极电极与所述漏极电极之间覆盖所述第一半导体层以及所述第二半导体层而设置。所述第二半导体层与所述栅极电极分离地配置。从所述第二半导体层的端部到所述栅极电极的端部的第一距离比从所述漏极电极的端部到所述栅极电极的端部的第二距离短。
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公开(公告)号：CN115188815A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202110842710.9
申请日：2021-07-26
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
IPC: H01L29/778 , H01L29/417
Abstract: 提供降低了输出电容的半导体装置，具备：基板；第一氮化物半导体层，设置于基板上；第二氮化物半导体层，设置于第一氮化物半导体层的上方，带隙比第一氮化物半导体层大；第一布线，设置于第二氮化物半导体层的上方，沿第一方向延伸；第一源极电极及第一栅极电极，设置于第二氮化物半导体层的上方并沿第二方向延伸，第一源极电极与第一布线电连接；及第一漏极电极，具有：沿第二方向延伸的第一至第三漏极布线及第一元件分离区域，在第三漏极布线上设置有包括第一孔、与第一孔相比距第三漏极布线的前端远的第二孔和与第二孔相比距第三漏极布线的前端远的第三孔的第一多个孔，第一孔与第二孔的第一距离比第二孔与第三孔的第二距离短。
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