公开(公告)号：CN1574269A

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：CN200410047964.8

申请日：2004-06-09

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 松下宏 ,  门多健一

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G11C29/006 ,  G11C2029/0403 ,  G11C2029/4402 ,  G11C2029/5002

Abstract: 本发明涉及根据在每一个晶片上产生的不合格分布，检测在半导体集成电路的制造工序中使用的异常制造装置的不合格检测方法和不合格检测装置。

公开(公告)号：CN100399527C

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：CN200410047964.8

申请日：2004-06-09

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 松下宏 ,  门多健一

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G11C29/006 ,  G11C2029/0403 ,  G11C2029/4402 ,  G11C2029/5002

Abstract: 本发明涉及根据在每一个晶片上产生的不合格分布，检测在半导体集成电路的制造工序中使用的异常制造装置的不合格检测方法和不合格检测装置。