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公开(公告)号:CN102709207A
公开(公告)日:2012-10-03
申请号:CN201210048523.4
申请日:2012-02-27
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R31/2894
Abstract: 根据一个实施例,一种质量评估设备包括:存储模块,所述存储模块存储指定信息,所述指定信息用于指定包括检查目标和非检查目标的评估目标中要进行抽样检查的所述检查目标,由所述检查目标的抽样检查获得的特征值以及基于所述特征值确定检查目标质量的准则信息;阈值计算器,利用所述准则信息从所述检查目标的特征值计算指示所述检查目标质量的阈值;以及分组模块,将所述评估目标分成组,使得所述组具有将所述阈值用作变量的概率分布。
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公开(公告)号:CN102709207B
公开(公告)日:2015-07-15
申请号:CN201210048523.4
申请日:2012-02-27
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R31/2894
Abstract: 根据一个实施例,一种质量评估设备包括:存储模块,所述存储模块存储指定信息,所述指定信息用于指定包括检查目标和非检查目标的评估目标中要进行抽样检查的所述检查目标,由所述检查目标的抽样检查获得的特征值以及基于所述特征值确定检查目标质量的准则信息;阈值计算器,利用所述准则信息从所述检查目标的特征值计算指示所述检查目标质量的阈值;以及分组模块,将所述评估目标分成组,使得所述组具有将所述阈值用作变量的概率分布。
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公开(公告)号:CN113391613A
公开(公告)日:2021-09-14
申请号:CN202010876816.6
申请日:2020-08-27
Applicant: 株式会社东芝
IPC: G05B23/02
Abstract: 一种信息处理装置、信息处理方法以及程序,能够高精度地推定对象装置的传感器数据。本发明的信息处理装置具备:段生成部、提取部、推定数据生成部。段生成部根据由观测对象装置的传感器检测出的时间序列的传感器数据,生成按对象装置的每个动作状态进行了分割得到的多个段。提取部提取多个段中的与任意的第1时刻的动作状态为同一动作状态的段所包含的对象数据。推定数据生成部基于对象数据,生成被推定为在与第1时刻不同的指定时刻从传感器输出的推定数据。
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