公开(公告)号：CN1981358A

公开(公告)日：2007-06-13

申请号：CN200580022535.8

申请日：2005-06-29

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 蒲生保则 ,  田中肇 ,  小栗拓 ,  伊藤武夫

IPC: H01J9/22 ,  H01J9/227

CPC classification number: H01J9/20

Abstract: 一种形成装置和形成方法。形成装置包括：膜拉出机构(22)，从其一端由该转移膜的卷绕体将转移膜拉出，该转移膜的一预定层在基膜上形成；膜传输机构(1、4、23、7)，将所拉出的转移膜传输至下游；转移机构(6、17、18)，通过压合并加热转移膜将预定层转移到安装在可移动安装台(14)上的板上；膜卷起机构(8)，卷起转移膜同时将基膜从转移膜剥除；移动机构(10、11、12、13)，与转移机构形成在同一封装(BD)上，用于移动安装台；压合机构(9、24)，形成于该封装上，用于压合安装台上的板；以及控制部分(52)，响应于来自外部源的操作指令，控制各个操作以将预定层转移到板上并压合该板。通过这种形成装置的单个单元，自动执行转移和压合。