半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1438687A

    公开(公告)日:2003-08-27

    申请号:CN02154213.9

    申请日:2002-12-27

    Abstract: 提供一种半导体器件,包括:包含元件的第1衬底;贯通所述第1衬底的第1栓塞,所述第1栓塞的材料为导电材料,所述第1栓塞与所述元件电连接;设置在所述第1衬底上方的第2衬底。所述第2衬底通过所述的第1栓塞与所述元件电连接;以及贯通所述第1衬底的第2栓塞,所述第2栓塞的材料为非绝缘材料,所述第2栓塞与所述第2衬底电连接。

    半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1215542C

    公开(公告)日:2005-08-17

    申请号:CN02154213.9

    申请日:2002-12-27

    Abstract: 提供一种半导体器件及其制造方法,该半导体器件包括:包含元件的第1衬底;贯通所述第1衬底的第1栓塞,所述第1栓塞的材料为导电材料,且所述第1栓塞与所述元件电连接;设置在所述第1衬底上方的第2衬底,所述第2衬底通过所述的第1栓塞与所述元件电连接;以及贯通所述第1衬底的第2栓塞,所述第2栓塞的材料为非绝缘材料,所述第2栓塞不与所述第2衬底电连接,且所述第2栓塞用于检测所述第1衬底的厚度。

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