公开(公告)号：CN115939012A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202210127973.6

申请日：2022-02-11

Applicant: 株式会社东芝 ,  东芝电子元件及存储装置株式会社

Inventor： 中川启治

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 实施方式提供容易进行切割条件的最优化以及拾取条件的最优化的半导体制造装置及其使用方法。实施方式的半导体制造装置具备：台，具有上表面，该上表面载置环状框架，该环状框架具有利用粘接部件固定有基板的第一开口部，所述台具有多个第一贯通孔与多个第二贯通孔，该多个第一贯通孔沿上下方向贯通台，沿与上表面平行的第一方向排列设置，该多个第二贯通孔设于多个第一贯通孔的各个之间，沿上下方向贯通台；以及设于台之上的容器，具有第二开口部与接头，该第二开口部设于容器的下部，具有比第一开口部的第一内径大的第二内径，能够与环状框架紧贴，该接头能够连通容器的外部与容器的内部。

公开(公告)号：CN104916753A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201410444280.5

申请日：2014-09-03

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 中川启治 ,  小泉洋

IPC: H01L33/48 ,  H01L33/50

CPC classification number: H01L33/504 ,  H01L33/486 ,  H01L33/505 ,  H01L33/60 ,  H01L33/62 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/48257 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00012

Abstract: 实施方式提供一种可改善发光色控制性及光输出特性的发光装置。实施方式的发光装置包括：发光体，包含第1面、与所述第1面相反侧的第2面、以及侧面；第1波长转换体，沿着所述侧面而设于所述发光体周围，且包含第1荧光体，该第1荧光体由所述发光体放射的1次光激发，而放射出与所述1次光波长相异的2次光；以及第2波长转换体，设于所述第1面上的至少一部分，并包含放射出波长不同于所述1次光以及所述2次光的另一2次光的第2荧光体。