公开(公告)号：CN101460295A

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200780020819.2

申请日：2007-05-30

Applicant: 柯尼卡美能达精密光学株式会社

Inventor： 增渊友一 ,  今冈雅之 ,  泷谷俊哉 ,  林宏太郎 ,  石原淳 ,  松本安弘 ,  奥村佳弘

IPC: B29D11/00 ,  B29C33/38 ,  C03B11/08 ,  C03B17/00 ,  G01M11/00 ,  G02B13/16 ,  G02B17/02 ,  B29L11/00

CPC classification number: G02B17/0663 ,  B29C33/3835

Abstract: 投影光学系统(PS)的制造方法是根据该投影光学系统(PS)内的全部光学面的近似面，评价整个系统的光学性能，并且通过使全部光学面的近似面中至少1面(例如使原始品的第二透镜L2的缩小侧透镜面(S(L2s))；称为(变化近似面)变化，求出整个系统发挥最佳光学性能时的变化近似面的变化量。而且，基于该变化量求出与变化近似面对应的金属模的腔面修正加工量并进行修正加工，制作新的腔面。

公开(公告)号：CN101460295B

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN200780020819.2

申请日：2007-05-30

Applicant: 柯尼卡美能达精密光学株式会社

Inventor： 增渊友一 ,  今冈雅之 ,  泷谷俊哉 ,  林宏太郎 ,  石原淳 ,  松本安弘 ,  奥村佳弘

IPC: B29D11/00 ,  B29C33/38 ,  C03B11/08 ,  C03B17/00 ,  G01M11/00 ,  G02B13/16 ,  G02B17/02 ,  B29L11/00

CPC classification number: G02B17/0663 ,  B29C33/3835

Abstract: 投影光学系统(PS)的制造方法是根据该投影光学系统(PS)内的全部光学面的近似面，评价整个系统的光学性能，并且通过使全部光学面的近似面中至少1面(例如使原始品的第二透镜L2的缩小侧透镜面(S(L2s))；称为「变化近似面」)变化，求出整个系统发挥最佳光学性能时的变化近似面的变化量。而且，基于该变化量求出与变化近似面对应的金属模的腔面修正加工量并进行修正加工，制作新的腔面。