固体激光系统和波长转换系统

    公开(公告)号:CN110249261B

    公开(公告)日:2022-11-18

    申请号:CN201780085496.9

    申请日:2017-03-02

    Inventor: 小野濑贵士

    Abstract: 本公开的固体激光系统具有:第1固体激光装置,其输出第1波长的第1脉冲激光束;第2固体激光装置,其输出第2波长的第2脉冲激光束;第1非线性晶体,其配置在第1脉冲激光束和第2脉冲激光束行进的第1光路上,通过和频产生过程将第1脉冲激光束和第2脉冲激光束波长转换为第3波长的第3脉冲激光束而输出;以及第2非线性晶体,其配置在第2脉冲激光束和第3脉冲激光束行进的第2光路上,通过和频产生过程将第2脉冲激光束和第3脉冲激光束波长转换为第4波长的第4脉冲激光束而输出,使第2脉冲激光束在入射到第1非线性晶体之前的第1时机入射到第2非线性晶体,使第2脉冲激光束中的在和频产生过程中未被使用而穿过第2非线性晶体的剩余光,在比第1时机晚的第2时机入射到第1非线性晶体。

    激光系统和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN112771444A

    公开(公告)日:2021-05-07

    申请号:CN201880098243.X

    申请日:2018-11-26

    Abstract: 本公开的一个观点的激光系统具有输出第1脉冲激光的波长可变的第1固体激光装置、对第1脉冲激光进行波长转换的波长转换系统、放大由波长转换系统进行波长转换后的脉冲激光的准分子放大器、以及控制部。波长转换系统包含供第1脉冲激光入射的第1非线性晶体、以及使第1脉冲激光在第1非线性晶体上的第1入射角度变化的第1旋转台。控制部从外部装置接收从准分子放大器输出的准分子激光的目标中心波长的数据,根据被指示的目标中心波长对第1脉冲激光的波长进行控制,并且根据目标中心波长的平均值对在第1非线性晶体上的所述第1入射角度进行控制。

    脉冲激光的生成方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112563116B

    公开(公告)日:2024-07-05

    申请号:CN202011439736.0

    申请日:2017-03-16

    Abstract: 本发明提供脉冲激光的生成方法。固体激光器装置具有:种子激光器,输出作为CW激光的种子光;光强度可变部,通过变更种子光的光强度而将种子光脉冲化,并作为种子脉冲光而输出;CW激励激光器,输出CW激励光;放大器,基于通过CW激励光的光激励被增加的放大增益,将种子脉冲光放大,并作为放大光输出;波长转换部,对放大光进行波长转换,并输出谐波光;和光强度控制部,根据外部触发信号的输入对光强度可变部进行控制,光强度控制部在每次外部触发信号输入时,在从外部触发信号输入起经过一定时间之后使光强度可变部输出种子脉冲光,在从种子脉冲光输出之后起至下一个外部触发信号输入为止的期间内使光强度可变部输出抑制放大增益的增加的抑制光。

    激光系统
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110024239A

    公开(公告)日:2019-07-16

    申请号:CN201780073845.5

    申请日:2017-01-26

    Inventor: 小野濑贵士

    Abstract: 一种激光系统,其具有:A、激光装置,其输出脉冲激光;B、光学脉冲扩展器,其包含用于延长脉冲激光的脉冲宽度的延迟光路;以及C、相位光学元件,其包含在延迟光路内,且包含使脉冲激光的相位在空间上随机地偏移的功能。相位光学元件包含多种单元,该多种单元的使脉冲激光的相位发生偏移的相移量是不同的,并且该多种单元的排列在任意方向上也是非周期性的。

    激光加工方法和激光加工系统
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117917972A

    公开(公告)日:2024-04-23

    申请号:CN202180102220.3

    申请日:2021-10-22

    Inventor: 小野濑贵士

    Abstract: 激光加工方法包括:第1工序,使激光会聚于被加工物的表面来形成凹部;以及第2工序,使激光会聚于所述凹部的底面,在第2工序中,在设凹部的上端处的激光的注量为Fin,设通过由于激光的照射引起的被加工物与气氛的化学反应而生成膜的上限的注量为Ffth,设被加工物可通过激光来进行加工的下限的注量为Fmth的情况下,注量Fin满足式子Ffth

    激光系统和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN112771444B

    公开(公告)日:2023-07-11

    申请号:CN201880098243.X

    申请日:2018-11-26

    Abstract: 本公开的一个观点的激光系统具有输出第1脉冲激光的波长可变的第1固体激光装置、对第1脉冲激光进行波长转换的波长转换系统、放大由波长转换系统进行波长转换后的脉冲激光的准分子放大器、以及控制部。波长转换系统包含供第1脉冲激光入射的第1非线性晶体、以及使第1脉冲激光在第1非线性晶体上的第1入射角度变化的第1旋转台。控制部从外部装置接收从准分子放大器输出的准分子激光的目标中心波长的数据,根据被指示的目标中心波长对第1脉冲激光的波长进行控制,并且根据目标中心波长的平均值对在第1非线性晶体上的所述第1入射角度进行控制。

    固体激光器装置、固体激光器系统以及曝光装置用激光装置

    公开(公告)号:CN108780980B

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN201780016378.2

    申请日:2017-03-16

    Abstract: 固体激光器装置具有:种子激光器,其输出作为CW激光的种子光;光强度可变部,其通过变更种子光的光强度而将种子光脉冲化,并作为种子脉冲光而输出;CW激励激光器,其输出CW激励光;放大器,其基于通过CW激励光的光激励而被增加的放大增益,将种子脉冲光放大,并作为放大光输出;波长转换部,其对放大光进行波长转换,并输出谐波光;以及光强度控制部,其根据外部触发信号的输入对光强度可变部进行控制,光强度控制部在每次外部触发信号输入时,在从外部触发信号输入起经过一定时间之后使光强度可变部输出种子脉冲光,在从种子脉冲光输出之后起至下一个外部触发信号输入为止的期间内使光强度可变部输出抑制放大增益的增加的抑制光。

    固体激光系统和波长转换系统

    公开(公告)号:CN110249261A

    公开(公告)日:2019-09-17

    申请号:CN201780085496.9

    申请日:2017-03-02

    Inventor: 小野濑贵士

    Abstract: 本公开的固体激光系统具有:第1固体激光装置,其输出第1波长的第1脉冲激光束;第2固体激光装置,其输出第2波长的第2脉冲激光束;第1非线性晶体,其配置在第1脉冲激光束和第2脉冲激光束行进的第1光路上,通过和频产生过程将第1脉冲激光束和第2脉冲激光束波长转换为第3波长的第3脉冲激光束而输出;以及第2非线性晶体,其配置在第2脉冲激光束和第3脉冲激光束行进的第2光路上,通过和频产生过程将第2脉冲激光束和第3脉冲激光束波长转换为第4波长的第4脉冲激光束而输出,使第2脉冲激光束在入射到第1非线性晶体之前的第1时机入射到第2非线性晶体,使第2脉冲激光束中的在和频产生过程中未被使用而穿过第2非线性晶体的剩余光,在比第1时机晚的第2时机入射到第1非线性晶体。

Patent Agency Ranking