-
公开(公告)号：CN105556261A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201580001805.0
申请日：2015-03-13
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
CPC classification number: G01J5/34 , G01J5/10 , H01L37/025
Abstract: 红外线检测元件(25)，具备：具有空洞(13)的基板(11)；由下部电极层(40)、检测层(16)以及上部电极层(50)依次层叠而成的红外线检测部(20)；在空洞(13)的上方支承红外线检测部(20)的第一支承部(30A)以及第二支承部(30B)；用于将来自红外线检测部(20)的电信号提取到外部的第一外部引出部(60A)以及第二外部引出部(60B)，第一支承部(30A)具备，依次层叠的第一下部布线(80A)、第一绝缘层(16A)以及第一上部布线(70A)，上部电极层(50)，经由第一上部布线(80A)与第一外部引出部(60A)连接，第二支承部(30B)具备，依次层叠的第二上部布线(80B)、第二绝缘层(16B)以及第二下部布线(70B)，下部电极层(40)，经由第二下部布线(70B)与第二外部引出部(60B)连接。
-
公开(公告)号：CN113631882A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202080024631.0
申请日：2020-03-05
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: G01C19/5733
Abstract: 提供了一种在尺寸上减小且在灵敏度上提高的角速度传感器。锚定器构件(7)支持框架状构件(6)。第一输入电极(81)位于框架状构件(6)的外侧以与框架状构件(6)分离，并且固定到基板(2)。第二输入电极(82)包括位于框架状构件(6)的外侧且连接到框架状构件(6)的电极部。第二输入电极(82)面对第一输入电极(81)并且在规定方向上是可位移的。第一参考电极(91)位于框架状构件(6)的内侧并且固定到基板(2)。第二参考电极(92)包括位于框架状构件(6)的内侧且连接到框架状构件(6)的电极部。第二参考电极(92)面对第一参考电极(91)并且在规定方向上是可位移的。在结构组件(3)中，在关于基板(2)限定的厚度方向上的平面图中，第一输入电极(81)与第二输入电极(82)的电极部在规定方向上位于框架状构件(6)与重量构件(4)之间。
-
公开(公告)号：CN113631882B
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202080024631.0
申请日：2020-03-05
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: G01C19/5733
Abstract: 提供了一种在尺寸上减小且在灵敏度上提高的角速度传感器。锚定器构件(7)支持框架状构件(6)。第一输入电极(81)位于框架状构件(6)的外侧以与框架状构件(6)分离，并且固定到基板(2)。第二输入电极(82)包括位于框架状构件二输入电极(82)面对第一输入电极(81)并且在规定方向上是可位移的。第一参考电极(91)位于框架状构件(6)的内侧并且固定到基板(2)。第二参考电极(92)包括位于框架状构件(6)的内侧且连接到框架状构件(6)的电极部。第二参考电极(92)面对第一参考电极(91)并且在规定方向上是可位移的。在结构组件(3)中，在关于基板(2)限定的厚度方向上的平面图中，第一输入电极(6)的外侧且连接到框架状构件(6)的电极部。第(56)对比文件JP H09236436 A,1997.09.09US 2002083777 A1,2002.07.04US 2006117852 A1,2006.06.08US 2015377621 A1,2015.12.31US 5908986 A,1999.06.01US 8322213 B2,2012.12.04WO 2018021166 A1,2018.02.01WO 2018193890 A1,2018.10.25程雷,李景森,李立勇等.小型静电陀螺仪电极面积及电极装配误差研究.中国惯性技术学报.2004,(第3期),51-55.Huang, Y. H.等. Effects of electrodearea and interval on the sensitivity ofbilateral silicon detectors used forneutron dosimetry.RadiationMeasurements.2018,220-224.
-
公开(公告)号：CN105556261B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201580001805.0
申请日：2015-03-13
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
CPC classification number: G01J5/34 , G01J5/10 , H01L37/025
Abstract: 红外线检测元件(25)，具备：具有空洞(13)的基板(11)；由下部电极层(40)、检测层(16)以及上部电极层(50)依次层叠而成的红外线检测部(20)；在空洞(13)的上方支承红外线检测部(20)的第一支承部(30A)以及第二支承部(30B)；用于将来自红外线检测部(20)的电信号提取到外部的第一外部引出部(60A)以及第二外部引出部(60B)，第一支承部(30A)具备，依次层叠的第一下部布线(80A)、第一绝缘层(16A)以及第一上部布线(70A)，上部电极层(50)，经由第一上部布线(80A)与第一外部引出部(60A)连接，第二支承部(30B)具备，依次层叠的第二上部布线(80B)、第二绝缘层(16B)以及第二下部布线(70B)，下部电极层(40)，经由第二下部布线(70B)与第二外部引出部(60B)连接。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.021 seconds)
