公开(公告)号：CN1926434A

公开(公告)日：2007-03-07

申请号：CN200580006749.6

申请日：2005-02-14

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 寺田二郎 ,  中谷将也 ,  石田贵巳

IPC: G01P15/10 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/09 ,  G01P15/097 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084

Abstract: 本发明涉及振动型压电加速度传感器，其包括以下元件：成直线地对向配置于框架的一组振动膜；支承该振动膜的支承体；保持该支承体于直线方向自由滑动的保持部；以及与所述一组振动膜正交的另一组振动膜成直线地对向配置，并检测X、Y方向两轴的加速度，由此结构，由于通过保持部传送至支承体的加速度，振动膜发生伸缩且固有振动频率发生改变，从而可检测加速度并得到较高的共振频率的变化率，且可不受温度变化的影响而检测两轴加速度。

公开(公告)号：CN104185773A

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201380012802.8

申请日：2013-03-05

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 石田贵巳 ,  山本贤作

IPC: G01C19/5628 ,  G01P15/10 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187

CPC classification number: G01P15/0922 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/097 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/1132 ,  G01C19/5628 ,  G01P15/10 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/1871 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/1876

Abstract: 本发明的惯性力传感器具备：基部；连接用电极，其设置于基部；可挠部，其由基部支撑；驱动部，其设置于可挠部的上表面；检测部，其设置于可挠部的上表面；层间绝缘层，其配置于驱动部与检测部中的一方的上表面；和布线，其经由层间绝缘层的上表面将驱动部与检测部中的另一方与连接用电极电连接。该惯性力传感器能够提高灵敏度，并且小型。

公开(公告)号：CN103221777A

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN201180055413.4

申请日：2011-11-07

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 石田贵巳 ,  藤井刚

IPC: G01C19/5607 ,  G01P15/10 ,  H01L41/08

CPC classification number: G01C19/5607 ,  G01P15/097 ,  H01L41/0805

Abstract: 惯性力传感器具备：基体、设于基体的转换器、设于基体且与转换器连接的配线。配线具有：形成于基体上的下部电极层、形成于下部电极层上的压电层、形成于压电层上的电容减少层和形成于电容减少层上的上部电极层。电容减少层的介电常数比压电层的介电常数小。该惯性力传感器能够改善噪声等级。

公开(公告)号：CN101360968A

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：CN200780001605.0

申请日：2007-01-22

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 大内智 ,  相泽宏幸 ,  寺田二郎 ,  石田贵巳 ,  佐藤一郎 ,  大越伟生 ,  足森洋平

IPC: G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  G01P15/09

CPC classification number: G01C19/5642 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/574 ,  G01P15/097 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器。该惯性力传感器包含用于检测惯性力的检测元件，检测元件具有第1正交臂和支承部，第1正交臂的第1臂与第2臂在实质上正交的方向连结，支承部支承第1臂。而且，第2臂具有弯折部。本发明提供一种根据此结构既能检测互不相同的多个惯性力，也能检测多个检测轴的惯性力的小型惯性力传感器。

公开(公告)号：CN103278147B

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：CN201310162684.0

申请日：2007-01-22

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 大内智 ,  相泽宏幸 ,  寺田二郎 ,  石田贵巳 ,  佐藤一郎 ,  大越伟生 ,  足森洋平

IPC: G01C19/5607 ,  G01C19/5642 ,  G01C19/574 ,  G01P15/097 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01C19/5642 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/574 ,  G01P15/097 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器。该惯性力传感器包含用于检测惯性力的检测元件，检测元件具有第1正交臂和支承部，第1正交臂的第1臂与第2臂在实质上正交的方向连结，支承部支承第1臂。而且，第2臂具有弯折部。本发明提供一种根据此结构既能检测互不相同的多个惯性力，也能检测多个检测轴的惯性力的小型惯性力传感器。

公开(公告)号：CN103278147A

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201310162684.0

申请日：2007-01-22

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 大内智 ,  相泽宏幸 ,  寺田二郎 ,  石田贵巳 ,  佐藤一郎 ,  大越伟生 ,  足森洋平

IPC: G01C19/5607 ,  G01P15/097 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01C19/5642 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/574 ,  G01P15/097 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器。该惯性力传感器包含用于检测惯性力的检测元件，检测元件具有第1正交臂和支承部，第1正交臂的第1臂与第2臂在实质上正交的方向连结，支承部支承第1臂。而且，第2臂具有弯折部。本发明提供一种根据此结构既能检测互不相同的多个惯性力，也能检测多个检测轴的惯性力的小型惯性力传感器。

公开(公告)号：CN101360968B

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN200780001605.0

申请日：2007-01-22

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 大内智 ,  相泽宏幸 ,  寺田二郎 ,  石田贵巳 ,  佐藤一郎 ,  大越伟生 ,  足森洋平

IPC: G01C19/5607 ,  G01P15/097 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01C19/5642 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/574 ,  G01P15/097 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器。该惯性力传感器包含用于检测惯性力的检测元件，检测元件具有第1正交臂和支承部，第1正交臂的第1臂与第2臂在实质上正交的方向连结，支承部支承第1臂。而且，第2臂具有弯折部。本发明提供一种根据此结构既能检测互不相同的多个惯性力，也能检测多个检测轴的惯性力的小型惯性力传感器。