光学反射元件
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102405433A

    公开(公告)日:2012-04-04

    申请号:CN201080017370.6

    申请日:2010-04-16

    CPC classification number: G02B26/0858

    Abstract: 光学反射元件具有反射镜部、使该反射镜部振动的一对高频振子以及一对低频振子。高频振子具有基材、形成于该基材上的下部电极层、压电体层、上部电极层即驱动电极、以及第1监视电极。低频振子的一方具有与高频振子共同的基材、下部电极层、压电体层及驱动电极、以及上部电极层即第2监视电极。低频振子的另一方具有与高频振子共同的基材、下部电极层、压电体层、驱动电极及第1监视电极、和作为抑制压电体层的压电作用影响第1监视电极的不灵敏带的绝缘体层。设置于低频振子上的第1监视电极从低频振子之上连接到引出电极。

    光学反射元件
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102405432A

    公开(公告)日:2012-04-04

    申请号:CN201080017214.X

    申请日:2010-05-10

    CPC classification number: G02B26/0833 G02B27/01 G02B27/017 G02B2027/0147

    Abstract: 光学反射元件包括框状的支承体、曲折形状的第1振动器及第2振动器和反射镜部。将反射镜部与第1振动器相连结的连结位置和支承体与第1振动器相连结的连结位置连接起来的线段,以及将反射镜部与第2振动器相连结的连结位置和支承体与第2振动器相连结的连结位置连接起来的线段,与反射镜部中心轴线交叉。并且,第1振动器和第2振动器的转弯部的至少任意1个的外周自与反射镜部中心轴线平行且沿反射镜部的第1边的第1端部轴线偏离。或者第1振动器和第2振动器的转弯部的至少任意1个的外周自与反射镜部中心轴线平行且沿与反射镜部的第1边平行的第2边的第2端部轴线(T2)偏离。满足这2个条件中的至少任意一个。

    振动型压电加速度传感器

    公开(公告)号:CN1926434A

    公开(公告)日:2007-03-07

    申请号:CN200580006749.6

    申请日:2005-02-14

    CPC classification number: G01P15/09 G01P15/097 G01P15/18 G01P2015/084

    Abstract: 本发明涉及振动型压电加速度传感器,其包括以下元件:成直线地对向配置于框架的一组振动膜;支承该振动膜的支承体;保持该支承体于直线方向自由滑动的保持部;以及与所述一组振动膜正交的另一组振动膜成直线地对向配置,并检测X、Y方向两轴的加速度,由此结构,由于通过保持部传送至支承体的加速度,振动膜发生伸缩且固有振动频率发生改变,从而可检测加速度并得到较高的共振频率的变化率,且可不受温度变化的影响而检测两轴加速度。

    光学反射元件
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102405432B

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201080017214.X

    申请日:2010-05-10

    CPC classification number: G02B26/0833 G02B27/01 G02B27/017 G02B2027/0147

    Abstract: 光学反射元件包括框状的支承体、曲折形状的第1振动器及第2振动器和反射镜部。将反射镜部与第1振动器相连结的连结位置和支承体与第1振动器相连结的连结位置连接起来的线段,以及将反射镜部与第2振动器相连结的连结位置和支承体与第2振动器相连结的连结位置连接起来的线段,与反射镜部中心轴线交叉。并且,第1振动器和第2振动器的转弯部的至少任意1个的外周自与反射镜部中心轴线平行且沿反射镜部的第1边的第1端部轴线偏离。或者第1振动器和第2振动器的转弯部的至少任意1个的外周自与反射镜部中心轴线平行且沿与反射镜部的第1边平行的第2边的第2端部轴线(T2)偏离。满足这2个条件中的至少任意一个。

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